物質製造

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-593789
公開番号（公開出願番号）：特表2002-535482
出願日： 2000年01月05日
公開日（公表日）： 2002年10月22日
要約：

【要約】本発明は、(i)基板上に、物質、好ましくはフィルムを蒸着させるため以下:基板(5)を提供し、加熱する工程;物質溶液の小滴を含むエアロゾルを生成する工程;エアロゾルの定方向流が送達される少なくとも1つの出口(18)および少なくとも1つの電極(21)を備える、エアロゾルを送達するためノズルユニット(11)を提供する工程;正または負の電荷でこのエアロゾル小滴を荷電する工程;出口からエアロゾルの定方向流を送達するためノズルユニットを通じるエアロゾルの流れを提供する工程;ならびに、定方向エアロゾル流が基板に向かって引きつけられるように、この基板と少なくとも1つの電極との間に電場を生成する工程、を包含する方法および装置、ならびに(ii)上記の工程を包含するが、エアロゾル小滴が、粉末を形成するように、気相中で均一に反応する、粉末、好ましくは超微細粉末を製造するための方法および装置、を提供する。

請求項（抜粋）：

基板上に、物質、好ましくはフィルムを蒸着させる方法であって、該方法は、以下の工程:基板を提供する工程;該基板を加熱する工程;物質溶液の小滴を含むエアロゾルを生成する工程;該基板に該エアロゾルを送達するためのノズルユニットを提供する工程であって、該ノズルユニットは、該エアロゾルの定方向流が送達される少なくとも1つの出口および少なくとも1つの電極を備える、工程;正の電荷または負の電荷で該エアロゾル小滴を荷電する工程;該少なくとも1つの出口から該エアロゾルの定方向流を送達するため、該ノズルユニットを通じる該エアロゾルの流れを提供する工程;ならびに、該定方向エアロゾル流が該基板に向かって引きつけられるように、該基板と該少なくとも1つの電極との間に電場を生成する工程、を包含する、方法。

IPC (7件)：

C23C 16/448 , B01J 19/08 , B05B 5/08 , B05D 3/02 , B05D 3/10 , C23C 16/455 , C23C 16/46

FI (8件)：

C23C 16/448 , B01J 19/08 F , B01J 19/08 J , B05B 5/08 B , B05D 3/02 B , B05D 3/10 E , C23C 16/455 , C23C 16/46

Fターム (35件)：

4D075AC06 , 4D075AC07 , 4D075BB23X , 4D075BB81Y , 4D075BB85Y , 4D075DA06 , 4D075EA12 , 4F034AA10 , 4F034CA02 , 4F034DA26 , 4G075AA24 , 4G075AA27 , 4G075BC01 , 4G075CA02 , 4G075CA14 , 4G075CA65 , 4G075EB01 , 4G075EC01 , 4G075EC21 , 4K030AA03 , 4K030AA09 , 4K030AA11 , 4K030AA16 , 4K030BA01 , 4K030BA03 , 4K030BA22 , 4K030BA42 , 4K030BA44 , 4K030BA50 , 4K030CA02 , 4K030CA06 , 4K030EA01 , 4K030EA03 , 4K030JA10 , 4K030LA25

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭59-055368
電子放出素子、電子源、及びそれを用いた画像形成装置と、それらの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-324002 出願人：キヤノン株式会社
基板上のフィルムまたはコーティング堆積
公報種別：公表公報出願番号：特願平11-500382 出願人：インペリアルカレッジオブサイエンス,テクノロジーアンドメディスン

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