特許
J-GLOBAL ID:200903069283866322
液浸式露光用液体、液浸式露光用液体の精製方法および液浸式露光方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
速水 進治
, 佐藤 浩司
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2006308722
公開番号(公開出願番号):WO2006-115268
出願日: 2006年04月26日
公開日(公表日): 2006年11月02日
要約:
飽和炭化水素化合物を少なくとも第1および第2の吸着剤に接触させて、純度99.5重量%以上の飽和炭化水素化合物を含む液浸式露光用液体を得る。
請求項(抜粋):
飽和炭化水素化合物を少なくとも第1および第2の吸着剤に接触させて、純度99.5重量%以上の前記飽和炭化水素化合物を含む液浸式露光用液体を得る液浸式露光用液体の精製方法。
IPC (2件):
FI (3件):
H01L21/30 515D
, H01L21/30 516Z
, G03F7/20 521
Fターム (7件):
5F046AA22
, 5F046BA03
, 5F046CB01
, 5F046CB26
, 5F046CC01
, 5F046DA07
, 5F046DA27
引用特許:
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