特許
J-GLOBAL ID：200903069285720490

ペリクルおよびペリクル剥離装置

発明者：
関原 一敏

関原 一敏 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (3件)： 荒井 鐘司 ,  河野 尚孝 ,  嶋崎 英一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-135185
公開番号（公開出願番号）：特開2007-304491
出願日： 2006年05月15日
公開日（公表日）： 2007年11月22日
要約：
【課題】フォトマスクへの貼付後に剥離が容易なペリクルフレーム、さらに、フォトマスクに貼り付けられたペリクルを損傷なく剥離できる装置を提供する。【解決手段】本発明のペリクルは、少なくともひとつの辺長が300mm以上のペリクルであって、フォトマスク2へ貼り付けられた状態において、ペリクルフレーム1外側の全周の80%以上の領域に、フォトマスク1とペリクルフレーム2の間で幅2mm以上、高さ0.5mm以上の間隙を有することを特徴とする。本発明のペリクル剥離装置は、下部に平板状部を有する剥離具7と、この剥離具7をフォトマスク2との平行を保ったまま上方に引き上げる昇降手段12とからなり、ペリクルフレーム1とフォトマスク2との間隙に剥離具7の平板状部を差込むことによって、フォトマスク2とペリクルとを引き離すことを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
少なくともひとつの辺長が300mm以上のペリクルであって、フォトマスクに貼り付けられた状態において、ペリクルフレーム外側の全周の80%以上の領域に、フォトマスクとペリクルフレームの間で幅2mm以上、高さ0.5mm以上の間隙を有することを特徴とするペリクル。
IPC (1件)：
G03F 1/14
FI (1件)：
G03F1/14 J
Fターム (2件)：
2H095BC38 ,  2H095BC39
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 特開昭58-219023号公報
  • 特公昭63-27707号公報、
  • 米国特許第4861402号明細書
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審査官引用 (4件)
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