特許

J-GLOBAL ID：200903054407244220

大型ペリクルの支持装置および装着方法

発明者： 栗山 芳真 ,  脇元 一郎
出願人/特許権者： 旭化成電子株式会社
代理人 (3件)： 中川 周吉 ,  中川 裕幸 ,  飛田 高介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-151884
公開番号（公開出願番号）：特開2005-010765
出願日： 2004年05月21日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：

【課題】 本発明は、大型ペリクルであっても容易に取り回すことができ、その全面を容易に検査することを可能とする支持装置、及びかかる装置への大型ペリクルの装着方法を提供することを目的としている。【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明にかかる大型ペリクルの支持装置の代表的な構成は、ペリクル膜がその上で張られるための枠を、操作者が移動できるよう、床に対して移動可能に支持するための装置であり、床に対して移動可能な、移動可能部材と、前記枠を保持可能であり、且つ前記移動可能部材により保持されるよう該移動可能部材に着脱自在に接続可能である係合部材と、を有することを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ペリクル膜がその上で張られるための枠を、操作者が移動できるよう、床に対して移動可能に支持するための装置であり、 床に対して移動可能な、移動可能部材と、 前記枠を保持可能であり、且つ前記移動可能部材により保持されるよう該移動可能部材に着脱自在に接続可能である係合部材と、を有することを特徴とする大型ペリクルの支持装置。

IPC (1件)：

G03F1/14

FI (1件)：

G03F1/14 J

Fターム (2件)：

2H095BC31 ,  2H095BD08

引用特許：

出願人引用 (3件)

• パーティクル除去装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-168778   出願人：松下電子工業株式会社
• 表面状態検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-300680   出願人：キヤノン株式会社
• 異物検査装置、露光装置、及び露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-243372   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (2件)

• 自動ペリクル貼付装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-199710   出願人：株式会社ニコン
• 特開平3-229254