積層型ガスセンサ素子及びその評価方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：奥田誠 , 富澤孝 , 山中郁生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-385412
公開番号（公開出願番号）：特開2005-147835
出願日： 2003年11月14日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】信頼性の高い、ジルコニアとアルミナとを含む固体電解質層とアルミナ絶縁層とを備える積層型ガスセンサ素子、及びその評価方法を提供する【解決手段】積層型ガスセンサ素子1は、ジルコニアとアルミナとを含む固体電解質層11とアルミナを主とする第1,第2絶縁層21,22を同時焼成により直接接続してなる。レーザ光を照射したときにアルミナ結晶粒子中のCr3+イオンが発する蛍光のピークの波数値が応力によって変化することを利用し、固体電解質層11から取り出した第1試料SP1、及び第1絶縁層層21から取り出した第2試料SP2にレーザ光を照射し、得られた蛍光ピークの波数値κZとκAlの差から、積層型ガスセンサ素子1の耐久性信頼性を評価する。|κAl-κZr|<3.0cm-1の場合には、耐久性が良好である。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ジルコニア結晶粒子とCr3+イオンを含有するアルミナ結晶粒子とが互いに分散された固体電解質層と、上記固体電解質層と同時焼成により少なくとも一部で直接接して積層され、Cr3+イオンを含有するアルミナ結晶粒子を主成分とするアルミナ絶縁層と、を備える積層型ガスセンサ素子であって、上記固体電解質層のみを取り出した第1試料に、所定波長のレーザ光を照射して、上記第1試料に含まれる上記Cr3+イオンが発する蛍光を計測して得た、絶対波数値14400cm-1付近に位置する蛍光ピークの第1波数値κZrと、上記アルミナ絶縁層のみを取り出した第2試料に、上記所定波長のレーザ光を照射して、上記第2試料に含まれる上記Cr3+イオンが発する蛍光を計測して得た、この蛍光ピークの第2波数値κAlとを比較したとき、下記式(1)を満足する |κAl-κZr|<3.0cm-1 ...式(1) 積層型ガスセンサ素子。

IPC (1件)：

G01N27/409

FI (2件)：

G01N27/58 B , G01N27/58 A

Fターム (22件)：

2G004BB04 , 2G004BF01 , 2G004BJ02 , 2G004BM05 , 2G004BM07 , 2G004BM10 , 2G043AA03 , 2G043BA01 , 2G043CA07 , 2G043DA05 , 2G043DA09 , 2G043EA01 , 2G043FA06 , 2G043JA01 , 2G043KA01 , 2G043KA02 , 2G043KA05 , 2G043KA09 , 2G043LA03 , 2G043NA01 , 2G043NA02 , 2G043NA11

引用特許：

審査官引用 (4件)

セラミック積層体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-375808 出願人：日本特殊陶業株式会社
特開昭61-172054
セラミック積層体及びその製造方法、それを用いた酸素センサ素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-375846 出願人：日本特殊陶業株式会社

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