特許
J-GLOBAL ID：200903069363370077
波面測定装置および波面測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-051408
公開番号（公開出願番号）：特開2002-250678
出願日： 2001年02月27日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：
【要約】【課題】 凹面部材を使った従来の測定方法と同等の取扱い易さで、液浸光学系を含む被検光学系の光学的測定が行える測定装置及び測定方法を提供することを目的とする。また、被検光学系から射出する光を反射する光学部材において、被検光学系に最も近い面で反射が生じても、この反射の影響をほとんど受けない波面測定装置及び波面測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】 光源と、参照光を生じる参照部材が配置された参照光路と、前記被検光学系が配置される被検光路とを有する波面測定装置において、被検光路には、肉厚と凸面の曲率半径が略等しい平凸形状の光学部材を被検光学系側に平面を向けて配置し、被検光学系と平凸形状の光学部材の間を液体で満して測定を行う。
請求項（抜粋）：
被検光学系の波面を測定する波面測定装置であって、該波面測定装置は光源と、参照光を生じる参照部材が配置された参照光路と、前記被検光学系が配置される被検光路とを有し、該被検光路には、肉厚と凸面の曲率半径が略等しい平凸形状の光学部材が前記被検光学系側に平面を向けて配置され、前記被検光学系と前記平凸形状の光学部材の間を液体で満して測定を行うことを特徴とする波面測定装置。
IPC (3件)：
G01M 11/02
, G01J 9/02
, G01M 11/00
G01M 11/02 B
, G01J 9/02
, G01M 11/00 L
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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