特許
J-GLOBAL ID：200903069465923267
熱処理板の温度設定方法,プログラム,プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体及び熱処理板の温度設定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
金本 哲男
, 亀谷 美明
, 萩原 康司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-136548
公開番号（公開出願番号）：特開2007-311406
出願日： 2006年05月16日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：
【課題】レジストパターンの線幅がウェハ面内で均一に形成されるように,熱板の温度設定を行う。【解決手段】PEB装置の熱板は,複数の熱板領域に分割されており,各熱板領域毎に温度設定できる。熱板の各熱板領域には,熱板面内の温度を調整するための温度補正値がそれぞれ設定できる。先ず,フォトリソグラフィー工程が終了したウェハ面内の線幅を測定し,そのウェハ面内の線幅測定値から,複数の面内傾向成分を表すゼルニケ多項式のゼルニケ係数を算出する。次に,そのゼルニケ係数の変化量と温度補正値との相関を示す算出モデルを用いて,前記算出されたゼルニケ係数が零に近づくような熱板の各領域の温度補正値を算出する。算出された各温度補正値により熱板の各領域の温度を設定する。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
基板を載置して熱処理する熱処理板の温度設定方法であって,
前記熱処理板は,複数の領域に区画され,当該領域毎に温度設定可能であり,
さらに前記熱処理板の各領域毎に,熱処理板の面内温度を調整するための温度補正値が設定可能であり,
前記熱処理を含む一連の基板処理が終了した基板について基板面内の処理状態を測定する工程と,
前記基板面内の処理状態の測定値に基づいて,その基板の処理状態の複数の面内傾向成分を表すゼルニケ多項式のゼルニケ係数を算出する工程と,
前記複数の面内傾向成分を表すゼルニケ係数の変化量と温度補正値との相関を示す算出モデルを用いて,前記算出されたゼルニケ係数が零に近づくような熱処理板の各領域の温度補正値を算出する工程と,
算出された各温度補正値により前記熱処理板の各領域の温度を設定する工程と,を有することを特徴とする,熱処理板の温度設定方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/30 568
, H01L21/30 502V
5F046AA18
, 5F046JA22
, 5F046KA04
, 5F046LA18
