特許
J-GLOBAL ID：200903069520009405
有機エレクトロルミネセンス素子の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-290645
公開番号（公開出願番号）：特開平11-126686
出願日： 1997年10月23日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 蒸着材料の無駄な消費や不純物の混入を確実に防止できると共に各蒸着材についての無用な温度操作を省くことによって高品質の蒸着膜を得ることを目的とする。【解決手段】 ガラス基板等の処理材Mを真空排気可能なチャンバ2の中に装入し、セル4等の加熱蒸発手段によって有機系の蒸着材料を蒸発させて処理材Mに付着させて有機膜を形成した後処理材Mを搬出して新たに処理材Mをチャンバ2に装入するに際して、セル4の加熱を継続したままチャンバ2の内圧を蒸着材料の蒸発圧力よりも高くなるように希ガスまたはN2ガスなどをチャンバ2の中に供給し、処理材Mの搬入及び装入の期間ではセル4からの蒸着材料の蒸発を阻止する。
請求項（抜粋）：
基板の表面に有機材料を抵抗加熱真空蒸着法によって順次蒸着していく製造装置であって、基板を装入及び搬出可能なチャンバを内部に形成しこのチャンバを真空排気可能とした容器と、チャンバの内部に収納されその上方に装入した基板に向け蒸着材料を加熱して蒸発させる加熱蒸発手段と、チャンバの内部に操作ガスを供給してチャンバ内圧を上昇させる内圧操作手段とからなることを特徴とする有機エレクトロルミネセンス素子の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05B 33/10
, H05B 33/14 A
