特許
J-GLOBAL ID：200903069574618431

多層セラミック基板の製造方法

発明者：
原田 英幸

原田 英幸 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 小柴 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-349121
公開番号（公開出願番号）：特開2002-151855
出願日： 2000年11月16日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：
【要約】【課題】 キャビティが形成された多層セラミック基板を反りやうねりのない状態で製造できるようにする。【解決手段】 ガラスを含有するセラミック材料粉末を用いて作製されたガラスセラミックグリーンシート4,5を積層することによって、第1の端面7に開口9を位置させているキャビティ2を有するグリーンシート積層体6を得るとともに、グリーンシート積層体6の第1および第2の端面7および8に沿って、セラミック材料よりも焼結温度の高い収縮抑制用無機材料粉末を含む第1および第2の収縮抑制層10および11をそれぞれ設けることによって、複合積層体1を作製し、これを焼成することによって、多層セラミック基板を得ようとするとき、第1の収縮抑制層10を第2の収縮抑制層11より厚くして、第1の収縮抑制層10が第2の収縮抑制層11より高い剛性を有するようにする。
請求項（抜粋）：
ガラス成分を含有するセラミック材料粉末を用意する工程と、前記セラミック材料粉末よりも焼結温度の高い収縮抑制用無機材料粉末を用意する工程と、前記セラミック材料粉末を含有させて、キャビティを形成するための貫通孔を有する第1のガラスセラミックグリーンシートと少なくとも前記貫通孔の位置には貫通孔を有しない第2のガラスセラミックグリーンシートとをそれぞれ作製する工程と、前記第1のガラスセラミックグリーンシートと前記第2のガラスセラミックグリーンシートとを積層することによって、積層方向での第1の端面に開口を位置させるように前記貫通孔によって形成されたキャビティを有するグリーンシート積層体を得るとともに、前記グリーンシート積層体の前記第1の端面および前記第1の端面に対向する第2の端面に沿って前記収縮抑制用無機材料粉末を含有する第1および第2の収縮抑制層をそれぞれ設け、それによって、前記グリーンシート積層体の前記第1および第2の端面が前記第1および第2の収縮抑制層によってそれぞれ覆われた複合積層体を得る工程と、前記複合積層体を積層方向にプレスする工程と、次いで、前記複合積層体を焼成する工程とを備え、前記複合積層体において、前記第1の収縮抑制層は、前記第2の収縮抑制層より高い剛性を有するようにされる、多層セラミック基板の製造方法。
FI (3件)：
H05K 3/46 Z ,  H05K 3/46 H ,  H05K 3/46 T
Fターム (6件)：
5E346AA38 ,  5E346EE23 ,  5E346FF45 ,  5E346GG28 ,  5E346HH11 ,  5E346HH32
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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