特許
J-GLOBAL ID：200903069816425021
走査型露光装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-054210
公開番号（公開出願番号）：特開平8-250399
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】 簡易なアライメントマーク検出系でありながらも高精度な重ね合わせ精度を達成することができるアライメント検出系を備えた走査型露光装置を提供する。【構成】 複数の投影光学系12a〜12eを所定の方向に沿って配列した走査型露光装置で、感光基板14上のアライメントマーク24を複数の投影光学系のうち少なくとも1つを介してマスク10上のアライメントマーク23とともにマーク検出手段20a,20bで検出する、
請求項（抜粋）：
光源からの光束をマスクのパターン領域内の複数の部分領域のそれぞれに照明する複数の照明光学系と、所定の方向に沿って複数配列されるとともに、前記マスクを透過した前記光束による前記複数の部分領域それぞれのほぼ等倍の正立像を基板上に投影する複数の投影光学系と、前記マスク上の第1のアライメントマークを検出するとともに、前記複数の投影光学系のうち少なくとも1つの投影光学系を介して前記基板の表面とほぼ同一の平面内に設けられた第2のアライメントマークを検出するマーク検出手段とを備え、前記マーク検出手段の検出結果に基づいて前記マスクと前記感光基板とを位置決めした状態で、前記マスクと前記基板とを前記投影光学系に対して、前記所定の方向とほぼ直交する方向に走査することによって、前記パターン領域の像を前記基板上に露光することを特徴とする走査型露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
H01L 21/30 518
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 525 F
