特許
J-GLOBAL ID:200903069877031492
レーザ発振装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐々木 聖孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-360401
公開番号(公開出願番号):特開2001-177170
出願日: 1999年12月20日
公開日(公表日): 2001年06月29日
要約:
【要約】【課題】 レーザ発振器を構成する固体レーザ媒体、励起光供給手段および光共振器ミラーを部品点数の少ないコンパクトな構成で効率的に冷却すること。【解決手段】 レーザ発振器10の保持ユニット26は、円柱形のYAGロッド16と励起光供給部18(励起レーザユニット60)とを収容して保持するチャンバ40と、全反射ミラー20を包囲して保持するミラー保持部42と、チャンバ40とミラー保持部42との間に密着した状態で挿入される連結部44とを一体結合してなる。連結部44の冷却水導入口(IN)28より保持ユニット26内に導入された冷却水CWは、連結部44内の各接続通路44b、チャンバ40内の各接続通路80、各励起レーザユニット60の内部流路、チャンバ40の外側端部の各接続通路68、チューブ56内の流路17、チャンバ40内の各接続通路82、連結部44内の各接続通路44cを通って冷却水出口(OUT)30に集められ、このポート30から排出される。
請求項(抜粋):
励起されると両端面から光を放出する固体レーザ媒体と、前記固体レーザ媒体に励起用の光を供給する励起光供給手段と、前記固体レーザ媒体の両端面にそれぞれ対向して配置された一対の光共振器ミラーと、前記固体レーザ媒体、前記励起光供給手段および少なくとも一方の前記光共振器ミラーを一体的に保持する保持ユニットと、前記保持ユニットに冷媒を供給する冷媒供給手段とを具備するレーザ発振装置。
IPC (3件):
H01S 3/042
, H01S 3/08
, H01S 3/094
FI (3件):
H01S 3/08
, H01S 3/04 L
, H01S 3/094 S
Fターム (11件):
5F072AB01
, 5F072AK01
, 5F072JJ01
, 5F072KK01
, 5F072PP07
, 5F072TT01
, 5F072TT14
, 5F072TT15
, 5F072TT17
, 5F072TT18
, 5F072YY06
引用特許: