特許
J-GLOBAL ID：200903069893821460

点欠陥検出装置及びその方法

発明者：
渥美 誠志

渥美 誠志 について

, 
野田 正明

野田 正明 について

, 
齋藤 雅夫

齋藤 雅夫 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-036659
公開番号（公開出願番号）：特開2001-228049
出願日： 2000年02月15日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：
【要約】【課題】 検査員などによる目視検査を行うことなく、光変調装置の点欠陥を検出できる点欠陥検出装置及びその方法を提供する。【解決手段】 処理装置6は、画像撮り込み装置5により撮り込まれた画像データに含まれる、画像撮り込み装置5のノイズを除去するノイズ除去機能10と、ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データに対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能11と、点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力する点欠陥検出機能12とを含む。
請求項（抜粋）：
光変調装置と、前記光変調装置に表示された画像パターンを撮り込む画像撮り込み装置と、前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データを演算する処理装置と、を備えた点欠陥検出装置において、前記処理装置は、前記画像撮り込み装置により撮り込まれた画像データに含まれる、前記画像撮り込み装置のノイズを除去するノイズ除去機能と、前記ノイズ除去機能によりノイズ除去された画像データに対し点欠陥強調処理を行う点欠陥強調機能と、前記点欠陥強調機能により点欠陥部が強調された画像データに基づいて、点欠陥を検出し、点欠陥情報を出力する点欠陥検出機能とを含むことを特徴とする点欠陥検出装置。
IPC (4件)：
G01M 11/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G06T 1/00 300 ,  G09F 9/00 352
FI (4件)：
G01M 11/00 T ,  G02F 1/13 101 ,  G06T 1/00 300 ,  G09F 9/00 352
Fターム (17件)：
2G086EE10 ,  2H088EA15 ,  2H088FA13 ,  2H088FA30 ,  2H088HA06 ,  2H088HA14 ,  2H088MA20 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CE02 ,  5B057CE03 ,  5B057DA03 ,  5G435AA19 ,  5G435BB12 ,  5G435BB17 ,  5G435DD04 ,  5G435KK10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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