パターン検査方法および装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：金山聡 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-197815
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028543
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】取り除かれる微細異物等のように不良ではないのに不良として検出され易い部分、すなわち不良検出においてノイズとなる部分を有する検査対象であっても、高い検査性能を得ることができるパターン検査方法および装置の提供。【解決手段】検査対象を撮像して得る検査対象画像データからノイズ領域を抽出してノイズ領域抽出画像データを生成するノイズ領域抽出過程と、前記ノイズ領域抽出画像データが示す前記検査対象画像データのノイズ領域を、そのノイズ領域の周囲の画素の代表値によって置き換え、ノイズ領域除去画像データを得るノイズ領域除去過程と、前記ノイズ除去画像データに基づいて検査対象の不良を抽出するパターン不良抽出過程と、を有するパターン検査方法およびその方法を適用した装置。

請求項（抜粋）：

検査対象を撮像して得る検査対象画像データからノイズ領域を抽出してノイズ領域抽出画像データを生成するノイズ領域抽出過程と、前記ノイズ領域抽出画像データが示す前記検査対象画像データのノイズ領域を、そのノイズ領域の周囲の画素の代表値によって置き換え、ノイズ領域除去画像データを得るノイズ領域除去過程と、前記ノイズ除去画像データに基づいて検査対象の不良を抽出するパターン不良抽出過程と、を有することを特徴とするパターン検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01N 21/89 , G06T 1/00

FI (3件)：

G01N 21/88 J , G01N 21/89 A , G06F 15/62 380

Fターム (24件)：

2G051AA73 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051CA03 , 2G051CB02 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051EB05 , 2G051EB09 , 2G051EC03 , 2G051EC05 , 2G051ED15 , 2G051FA01 , 5B057BA02 , 5B057CD05 , 5B057CE02 , 5B057CE05 , 5B057CE12 , 5B057DA03 , 5B057DC14

引用特許：

審査官引用 (10件)

特開平4-236316
画像処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-193199 出願人：富士ゼロックス株式会社
特公昭63-023311

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