エッチング液組成物及びこれを利用した導電膜のパターニング方法並びにフラットパネルディスプレイの製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (8件)：岡部正夫 , 加藤伸晃 , 岡部讓 , 臼井伸一 , 越智隆夫 , 本宮照久 , 朝日伸光 , 三山勝巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-166288
公開番号（公開出願番号）：特開2007-049120
出願日： 2006年06月15日
公開日（公表日）： 2007年02月22日
要約：

【課題】本発明は、エッチング液組成物及びこれを利用した導電膜のパターニング方法並びにフラットパネルディスプレイの製造方法に関する。【解決手段】エッチング液組成物及びこれを利用した導電膜のパターニング方法並びにフラットパネルディスプレイの製造方法に関し、前記エッチング液組成物は、リン酸、硝酸、酢酸、水及び添加剤を含み、前記添加剤は、塩素系化合物、硝酸塩系化合物、硫酸塩系化合物及び酸化調整剤を含む。また、前記エッチング液組成物を利用して、互いに異なる導電物質からなるゲート電極、ソース/ドレイン電極及び画素電極をパターニングする工程を行ってフラットパネルディスプレイを製造する方法を提供することによって、工程をさらに単純化させることができ、生産費用の低減と生産性の向上を期待することができる。【選択図】図12C

請求項（抜粋）：

リン酸、硝酸、酢酸、水、及び添加剤を含み、前記添加剤は、塩素系化合物、硝酸塩系化合物、硫酸塩系化合物、及び酸化調整剤を含むことを特徴とするエッチング液組成物。

IPC (7件)：

H01L 21/308 , C23F 1/20 , C23F 1/30 , H01L 21/28 , H01L 21/321 , H01L 21/336 , H01L 29/786

FI (7件)：

H01L21/308 F , C23F1/20 , C23F1/30 , H01L21/28 E , H01L21/88 C , H01L29/78 612D , H01L29/78 627C

Fターム (73件)：

4K057WA20 , 4K057WB01 , 4K057WB05 , 4K057WB15 , 4K057WE02 , 4K057WE04 , 4K057WE12 , 4K057WF01 , 4K057WN01 , 4M104AA01 , 4M104AA08 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB16 , 4M104BB36 , 4M104BB39 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD64 , 4M104FF13 , 4M104GG09 , 4M104GG20 , 5F033GG04 , 5F033HH08 , 5F033HH09 , 5F033HH20 , 5F033HH38 , 5F033LL02 , 5F033MM08 , 5F033QQ08 , 5F033QQ10 , 5F033QQ20 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033WW04 , 5F033XX33 , 5F033XX34 , 5F043AA24 , 5F043AA26 , 5F043AA27 , 5F043BB15 , 5F043GG02 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE06 , 5F110EE14 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF09 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110FF32 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110HK03 , 5F110HK04 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK15 , 5F110HK21 , 5F110NN02 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN27 , 5F110NN71 , 5F110NN72 , 5F110QQ05

引用特許：

審査官引用 (5件)

透明導電膜を含む積層膜のエッチング液組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-320278 出願人：関東化学株式会社
配線用エッチング液及びこれを利用した薄膜トランジスタ表示板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-029921 出願人：三星電子株式会社
エッチング液およびエッチング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-400843 出願人：シャープ株式会社

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