特許

J-GLOBAL ID：200903070097741623

走査ミラー、ビーム走査型プローブ

発明者： 菊地 直樹 ,  江刺 正喜 ,  芳賀 洋一 ,  前田 真法
出願人/特許権者： ペンタックス株式会社 ,  江刺 正喜 ,  芳賀 洋一
代理人 (1件)： 松岡 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-163449
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361889
出願日： 2003年06月09日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：

【課題】治療に有効な強度のレーザ光を良好に反射することができるミラーを有した走査ミラーを提供する。【解決手段】弾性部材と圧電部材とを貼り合わせ、基台に一端を支持されている少なくとも1本のカンチレバーと、この少なくとも1本のカンチレバーの自由端に周辺部を支持されている回動ミラーとを備えており、この圧電部材に電圧が印加されると、その自由端が、所定方向に変位して回動ミラーの中心部を略一定位置に保持しつつ周辺部を変位させ、回動ミラーを傾斜させるよう構成する。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

所定のビームを走査する走査ミラーにおいて、 弾性部材と圧電部材とを貼り合わせ、基台に一端を支持されている少なくとも1本のカンチレバーと、 前記カンチレバーの自由端に周辺部を支持されている回動ミラーと、を備え、 前記圧電部材に電圧が印加されると、前記自由端が、所定方向に変位して前記回動ミラーの中心部を略一定位置に保持しつつ前記周辺部を変位させ、前記回動ミラーを傾斜させること、を特徴とする走査ミラー。

IPC (6件)：

G02B26/10 ,  A61B1/00 ,  A61B8/12 ,  A61B18/00 ,  A61B18/20 ,  G02B23/26

FI (6件)：

G02B26/10 104Z ,  A61B1/00 300Y ,  A61B8/12 ,  G02B23/26 C ,  A61B17/36 350 ,  A61B17/36 330

Fターム (30件)：

2H040CA25 ,  2H040DA03 ,  2H040DA12 ,  2H040GA10 ,  2H040GA11 ,  2H045AB06 ,  2H045AB22 ,  4C026AA02 ,  4C026FF34 ,  4C026HH05 ,  4C026HH06 ,  4C060JJ12 ,  4C060JJ17 ,  4C060MM24 ,  4C061AA23 ,  4C061CC02 ,  4C061CC06 ,  4C061FF40 ,  4C061LL02 ,  4C061RR06 ,  4C061RR17 ,  4C601BB02 ,  4C601BB15 ,  4C601BB23 ,  4C601EE10 ,  4C601FE03 ,  4C601FF11 ,  4C601GA03 ,  4C601GA11 ,  4C601GA21

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ミラー駆動装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-386956   出願人：三菱電機株式会社
• 光偏向器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-092094   出願人：日本ビクター株式会社
• 特開昭52-037056
  
• 光走査型プローブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-028688   出願人：オリンパス光学工業株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Dynamic and static behavior of piezoelectric bimorphs in optical scanners