特許
J-GLOBAL ID：200903070130942249
多層材料、多層材料の製造方法及び製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 元彦 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-525074
公開番号（公開出願番号）：特表2000-506684
出願日： 1997年12月08日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：
【要約】多層材料は、無定形又は多結晶性層、有組織緩衝層及び有向薄層を有する。さらに緩衝層と薄層の間には少なくとも1つのカバー層が含まれている。多層材料を生成するための方法においては、緩衝層は、有向薄層が蒸着される前に基板表面の垂直線に対しα1≠0の角度で、緩衝層材料送出し装置を用いて基板表面上に緩衝層材料を蒸着させることによって、基板上に適用される。本発明によると、(a)緩衝層が蒸着された後で、かつ有向薄層が蒸着される前に、緩衝層の蒸着条件とは異なる条件下、特に異なる圧力、温度、速度及び/又は基板表面に対する垂直線に対0°の角度で、緩衝層上に少なくとも1つのカバー層が蒸着される。また、上述のプロセスを実施するのに適した手段が備わった多層材料を製造するための装置も開示されている。
請求項（抜粋）：
無定形又は多結晶性基板、有組織緩衝層及び有向薄層という順序の積層材において、少なくとも1つのカバー層(12)が緩衝層(11)と薄層(14)の間に含まれていることを特徴とする積層材。
IPC (10件)：
H01L 39/24 ZAA
, C23C 14/08
, C23C 14/30
, C30B 29/22 501
, H01B 12/06 ZAA
, H01B 13/00 565
, H01F 10/32
, H01F 41/20
, H01L 39/02 ZAA
, H01L 43/08
H01L 39/24 ZAA B
, C23C 14/08 L
, C23C 14/30 A
, C30B 29/22 501 K
, H01B 12/06 ZAA
, H01B 13/00 565 D
, H01F 10/08 A
, H01F 41/20
, H01L 39/02 ZAA B
, H01L 43/08 Z
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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