特許
J-GLOBAL ID：200903070211169269
板状シリコン製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-194269
公開番号（公開出願番号）：特開2005-029405
出願日： 2003年07月09日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】多結晶シリコンウエハの製造時における、角型ルツボの水平方向の温度分布の差を小さくすることにより、炉材の損傷、原料融液の過冷却、凝固および角型ルツボの割れなどの問題を回避する。【解決手段】本発明の板状シリコン製造装置は、角型ルツボと誘導加熱コイルを備える装置であって、角型ルツボの開口部分の少なくとも一部に断熱材を有することを特徴とする。断熱材は、角型ルツボの開口部分における辺の中央部分に配置されている態様が好ましい。また、断熱材は、下部と上部を有し、下部と上部が異なる形状、もしくは、異なる材質を有するものが好ましい。さらに、断熱材は、角型ルツボの開口部分と接する面に凹凸を有するものが好適である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
角型ルツボと誘導加熱コイルを備える板状シリコン製造装置であって、前記角型ルツボの開口部分の少なくとも一部に断熱材を有することを特徴とする板状シリコン製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B33/02 E
, C30B29/06 503
4G072AA01
, 4G072BB02
, 4G072BB12
, 4G072GG01
, 4G072GG04
, 4G072GG05
, 4G072HH01
, 4G072MM38
, 4G072RR30
, 4G072UU01
, 4G077AA02
, 4G077AA03
, 4G077BA04
, 4G077CD10
, 4G077CF03
, 4G077EG01
, 4G077EG02
, 4G077MB14
, 4G077MB24
, 4G077PC01
, 4G077PD02
, 4G077PD05
