特許
J-GLOBAL ID：200903070222136516

種結晶、種結晶の検査方法及び単結晶の製造方法

発明者：
内田 清志

内田 清志 について


出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 山本 恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-385227
公開番号（公開出願番号）：特開2002-187799
出願日： 2000年12月19日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：
【要約】【課題】 結晶に内在する欠陥を簡便にかつ確実に判別でき、可視光や偏光で調べても結晶内部に含まれている欠陥を観察できない結晶についても容易にかつ確実に品質を判別できる種結晶の検査方法を提供する。単結晶製造の歩留りを向上させることができると共に結晶品質を安定化させることができる単結晶、及びその単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】 種結晶の検査方法としては、種結晶又は種結晶を切り出す前の結晶からZ軸方向にほぼ垂直な平面のウエハを切り出し、ウエハの一方の面を鏡面状に仕上げた後エッチングし、エッチングした面のエッチピットに応じて種結晶の良否判別を行う。単結晶の製造方法としては、検査によって良好な品質と判別された種結晶を用いて結晶成長を行う。
請求項（抜粋）：
種結晶又は該種結晶を切り出す前の結晶からZ軸方向にほぼ垂直な平面のウエハを切り出し、該ウエハの一方の面を鏡面状に仕上げた後エッチングし、エッチングした面のエッチピットに応じて該種結晶の良否判別を行うことを特徴とする種結晶の検査方法。
IPC (4件)：
C30B 29/28 ,  C30B 29/30 ,  C30B 29/34 ,  G01N 21/84
FI (5件)：
C30B 29/28 ,  C30B 29/30 A ,  C30B 29/30 B ,  C30B 29/34 Z ,  G01N 21/84 Z
Fターム (14件)：
2G051AA51 ,  2G051AB06 ,  2G051CA11 ,  2G051CA20 ,  2G051CB01 ,  4G077AA02 ,  4G077BC23 ,  4G077CD01 ,  4G077CF10 ,  4G077ED01 ,  4G077FG05 ,  4G077FG11 ,  4G077HA20 ,  4G077PJ01
引用特許：
審査官引用 (4件)
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