特許
J-GLOBAL ID：200903070269933856
マイクロアクチュエータおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-120886
公開番号（公開出願番号）：特開平10-323058
出願日： 1997年05月12日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 マイクロアクチュエータの駆動中に可動子電極が固定子電極または基板に付着して動かなくなるという問題を解決する。【解決手段】 可動子4の櫛歯部4Aおよび電極B4と固定子3の櫛歯部3Aおよび電極3Bの互いに対向する面に凸凹薄膜6をそれぞれ形成する。また、半導体基板1の可動子電極4Bと対向する面にも凹凸薄膜6を形成する。凹凸薄膜6は絶縁膜からなる。
請求項（抜粋）：
固定子電極を含む固定子と可動子電極を含む可動子とを備えたマイクロアクチュエータにおいて、前記可動子側と前記固定子側の互いに対向する面の少なくともいずれか一方に凸凹構造を設けたことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
引用特許：
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