特許
J-GLOBAL ID：200903070298854353
シリコン単結晶引上げ用石英ルツボ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
波多野 久
, 関口 俊三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-096825
公開番号（公開出願番号）：特開2006-273672
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】高温環境での使用においても石英ルツボの倒込みが発生せず、単結晶引上げが中断されることなく、生産性のよい単結晶引上げが可能なシリコン単結晶引上げ用石英ルツボを提供する。【解決手段】本シリコン単結晶引上げ用石英ルツボは、シリコン融液と接する透明層とこの外周にある多数の気泡を含む不透明層を有し、液面より上方の透明層及び不透明層の厚さ方向のシリコン単結晶引上げ前後での線膨張率が各々0.001〜0.005%、5〜15%である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
石英ルツボ中の多結晶シリコンを溶融したシリコン融液の液面に種結晶を付け、この種結晶を引上げることでシリコン単結晶を製造するシリコン単結晶引上げ用石英ルツボであって、前記シリコン融液と接する透明層とこの外周にある多数の気泡を含む不透明層を有し、前記液面より上方の透明層及び不透明層の厚さ方向のシリコン単結晶引上げ前後での線膨張率が各々0.001〜0.005%、5〜15%であることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ルツボ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B29/06 502B
, C30B15/10
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG11
, 4G077HA12
, 4G077PD01
, 4G077PD02
出願人引用 (1件)
-
石英ルツボの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-085214
出願人：株式会社倉元製作所
審査官引用 (2件)
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