特許
J-GLOBAL ID：200903070320561381

光測定装置および方法

発明者：
小林 富美男

小林 富美男 について


出願人/特許権者：
フジノン株式会社

フジノン株式会社 について


代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-201750
公開番号（公開出願番号）：特開2007-017394
出願日： 2005年07月11日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：
【課題】温度環境の変化により光学系の支持体が膨張、収縮することの影響を排除して、常に高精度な測定結果を得ることが可能な三角測量方式の光測定装置を得る。【解決手段】2つの光学系(投影系20Aおよび観察系20B)を支持するベース板11の温度を計測する温度検出部30と、計測された温度とベース板11を形成する材料の線膨張率とに基づき、計測された温度下での基線の実長を求める基線長算出部43とが設けられている。演算解析部42は、基線長の初期設定値を基準長算出部43において求められた基線の実長値に置き換えるとともに、2つの光学系により得られた観察データを用いて、基線の実長と被観察点との位置関係に基づく演算を行ない、被検体5の3次元形状を解析するように構成されている。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
支持体上に設置された2つの光学系と、該2つの光学系間に設定された基線と被観察点との位置関係に基づき、前記2つの光学系により得られた観察データを用いて所定の演算を行ない、被検体に関する測定情報を得る演算手段とを備えた光測定装置であって、 前記支持体の温度を計測する温度センサと、 該温度センサにより計測された前記温度と前記支持体を形成する材料の線膨張率とに基づき、前記温度下での前記基線の実長を求める基線長算出手段と、を備え、 前記演算手段は、前記基線長算出手段により求められた前記実長を用いて前記演算を行なうように構成されていることを特徴とする光測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ,  G01B 11/24
FI (2件)：
G01B11/00 H ,  G01B11/24 A
Fターム (25件)：
2F065AA06 ,  2F065AA52 ,  2F065BB05 ,  2F065EE02 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF06 ,  2F065FF09 ,  2F065FF69 ,  2F065GG06 ,  2F065HH05 ,  2F065HH06 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR07 ,  2F065UU07
引用特許：
出願人引用 (4件)
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