特許
J-GLOBAL ID：200903070360085744

電子ビーム描画装置

発明者：
小笠原 宗博

小笠原 宗博 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-071089
公開番号（公開出願番号）：特開2008-235464
出願日： 2007年03月19日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：
【課題】静電偏向器に対する同軸ケーブルの接続本数を増やすことなく、静電偏向器の高速動作を可能にする。【解決手段】電子源から放出された電子ビームを試料上に照射することでパターンを形成する電子ビーム描画装置であって、電子源よりも下流側に設けられ接地電位に保たれた外筒21と、外筒21内に配置され偏向電圧が印加される複数の偏向電極22とを有し、電子ビームを電場によって偏向する静電偏向器20と、中心導体31と筒状の外部導体32からなり、中心導体31の一端が外筒21を貫通して偏向電極22に接続され、外部導体32の一端が外筒21に接続された同軸ケーブル30と、中心導体31と偏向電極22との接続部近傍で、中心導体31と外部導体32又は外筒21との間に接続され、同軸ケーブル30とインピーダンス整合を取るための抵抗体41とを備えた。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
電子源から放出された電子ビームを試料上に選択的に照射することでパターンを形成する電子ビーム描画装置であって、 前記電子源よりも下流側に設けられ接地電位に保たれた外筒と、この外筒内に配置されそれぞれ偏向電圧が印加される複数の偏向電極とを有し、前記電子ビームを電場によって偏向する静電偏向器と、 中心導体とこれを同軸的に囲む筒状の外部導体からなり、中心導体の一端部が前記外筒を貫通して前記偏向電極に接続され、外部導体の一端部が前記外筒に接続された同軸ケーブルと、 前記中心導体と前記偏向電極との接続部近傍で、前記中心導体と前記外部導体又は前記外筒との間に接続され、前記同軸ケーブルとインピーダンス整合を取るための抵抗値に設定された抵抗体と、 を具備したことを特徴とする電子ビーム描画装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  H01J 37/305 ,  H01J 37/147
FI (3件)：
H01L21/30 541B ,  H01J37/305 B ,  H01J37/147 C
Fターム (7件)：
5C033GG02 ,  5C034BB04 ,  5F056AA04 ,  5F056CB11 ,  5F056EA06 ,  5F056EA08 ,  5F056EA10
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 荷電粒子ビーム装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-069882   出願人：株式会社東芝
  • 特開平 9-340281号公報
審査官引用 (12件)
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