特許
J-GLOBAL ID：200903070373306421

薬液処理装置

発明者：
中村 元則

中村 元則 について

, 
岩月 雅弥

岩月 雅弥 について


出願人/特許権者：
エスティ・エルシーディ株式会社

エスティ・エルシーディ株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人田治米国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-059403
公開番号（公開出願番号）：特開2005-251936
出願日： 2004年03月03日
公開日（公表日）： 2005年09月15日
要約：
【課題】 薬液処理を停止させることなく、フィルターなどの濾過部材の交換又は再生処理ができる薬液処理装置及び薬液処理方法を提供する。【解決手段】 薬液タンク1、薬液処理槽2、薬液循環ラインLa、並びに薬液循環ラインLaに設置されたポンプP1及び第1の濾過部材3aからなる薬液処理装置100は、薬液循環ラインLaに第1の濾過部材3aと並列に第2の濾過部材3bが設置されている。ここで、薬液処理装置100は、第1の濾過部材3aと第2の濾過部材3bとが並列に接続されている洗浄液循環ラインLbを更に有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
薬液を貯液する薬液タンク、 被処理物を薬液で処理するための薬液処理槽、 薬液タンクと薬液処理槽との間で薬液を循環させる薬液循環ライン、並びに 薬液循環ラインに設置された、薬液を循環させるためのポンプ及び循環する薬液を濾過するための第1の濾過部材 からなる薬液処理装置において、 薬液循環ラインに第1の濾過部材と並列に第2の濾過部材が設置されており、 第1の濾過部材と第2の濾過部材にそれぞれ独立的に薬液又は洗浄液を任意に選択して循環できるように且つ第1の濾過部材又は第2の濾過部材に薬液が循環している場合にそれぞれ第2の濾過部材又は第1の濾過部材に洗浄液を循環させることができるように、第1の濾過部材と第2の濾過部材とが並列に接続されている洗浄液循環ラインが更に設けられていることを特徴とする薬液処理装置。
IPC (2件)：
H01L21/306 ,  H01L21/304
FI (4件)：
H01L21/306 J ,  H01L21/304 647A ,  H01L21/304 647B ,  H01L21/304 647Z
Fターム (6件)：
5F043AA31 ,  5F043BB22 ,  5F043EE24 ,  5F043EE25 ,  5F043EE30 ,  5F043EE40
引用特許：
出願人引用 (3件)

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