特許
J-GLOBAL ID：200903070423056189
感放射線性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-218476
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082924
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、架橋剤、及び溶媒よりなるネガ型感放射線性組成物において、該組成物中のハロゲンイオン濃度が50ppm以下である感放射線性組成物。【効果】 本発明のネガ型感放射線性組成物は、感度の経時変化が小さく、保存安定性に優れ、半導体集積回路等を製造する際に用いられるネガ型フォトレジストとして有用である。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、架橋剤、及び溶媒よりなるネガ型感放射線性組成物において、該組成物中のハロゲンイオン濃度が50ppm以下であることを特徴とする感放射線性組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/004 503
, G03F 7/004 501
, G03F 7/039
