温度測定装置

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出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-103318
公開番号（公開出願番号）：特開2002-296121
出願日： 2001年04月02日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】高感度、高速応答、小型、高精度、経時変化が少なく高信頼性の温度測定装置を安価に供給する。【解決手段】基板1から熱分離した半導体薄膜15にバイポーラ型またはMOSFET型のトランジスタ10を1個又は複数個形成し、そのトランジスタ10をトランジスタサーミスタ103としての温度センサ20とコレクタ抵抗またはドレイン抵抗の損失による発熱をヒータ30として利用する。そして、トランジスタ10での発熱を利用して、トランジスタサーミスタ103で温度を測定する。また、必要に応じこれらのトランジスタ10の周辺回路なども同一基板1に集積化する。

請求項（抜粋）：

バイポーラ型のトランジスタ(10、11、12、13、14)のエミッタ・ベース間電圧Vebを所定の電圧にして、コレクタ抵抗をサーミスタとして取り扱うトランジスタサーミスタ103の温度センサ(20)を利用した温度測定装置において、1個または複数のバイポーラ型のトランジスタが基板(1)から熱分離した半導体薄膜(15)に形成してあり、少なくとも1個の前記バイポーラ型のトランジスタのエミッタ・ベース間電圧Vebを所望の電圧にしてコレクタ電流を流し、コレクタ損失による発熱をヒータ(30)として作用させると共に、少なくとも1個の前記バイポーラ型のトランジスタを温度センサ(20)として作用させて、前記ヒータ(30)の温度を計測できるようにしたことを特徴とする温度測定装置。

IPC (8件)：

G01K 7/01 , G01F 1/692 , G01F 1/696 , H01L 21/8222 , H01L 27/082 , H01L 27/08 331 , H01L 29/732 , H01L 21/331

FI (8件)：

H01L 27/08 331 E , G01K 7/00 391 S , G01F 1/68 104 A , G01F 1/68 104 C , G01F 1/68 201 Z , G01K 7/00 391 M , H01L 27/08 101 B , H01L 29/72 P

Fターム (19件)：

2F035EA05 , 2F035EA08 , 5F003AP08 , 5F003AZ03 , 5F003BH11 , 5F048AA00 , 5F048AB10 , 5F048AC01 , 5F048BA01 , 5F048BA16 , 5F048BG05 , 5F082BA06 , 5F082BA35 , 5F082BA47 , 5F082BC01 , 5F082BC03 , 5F082BC09 , 5F082FA20 , 5F082GA04

引用特許：

審査官引用 (9件)

温度測定装置、熱型赤外線イメ-ジセンサ及び温度測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-022863 出願人：科学技術振興事業団
熱型温度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-117051 出願人：木村光照, 株式会社ニコン
フローセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-168424 出願人：株式会社リコー

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