近接場プローブ及びその製造方法、並びに、該近接場プロープを用いた近接場顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-361332
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162333
出願日： 2000年11月28日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、光の波長の値よりも小さい領域での偏光解消度、偏光度およびスペクトルの偏光依存性の何れかの測定に用いられる近接場プローブを提供することにある。【解決手段】プローブ14の先端に近接場光を発生させる励起光ないし試料測定面からの被測定光に透明な材質で構成され、該励起光ないし該被測定光を導光する導光部と、前記励起光ないし前記被測定光に不透明な材質で構成され、前記導光部の少なくとも先端表面に形成されたマスク52と、前記マスク52が形成された導光部の最先端に作成され、該先端に発生した近接場光を所定の振動方向の直線偏光として試料測定面に照射する、ないし光の照射によって得られた試料測定面からの被測定光を所定の振動方向の直線偏光として集光する楕円状またはスリット状の開口26と、を備えたことを特徴とする近接場プローブ14。

請求項（抜粋）：

プローブ先端に近接場光を発生させる励起光ないし試料測定面からの被測定光に透明な材質で構成され、該励起光ないし該被測定光を導光する導光部と、前記励起光ないし前記被測定光に不透明な材質で構成され、前記導光部の少なくとも先端表面に形成されたマスクと、前記マスクが形成された導光部の最先端に作成され、該先端に発生した近接場光を所定の振動方向の直線偏光として試料測定面に照射する、ないし光の照射によって得られた試料測定面からの被測定光を所定の振動方向の直線偏光として集光する楕円状またはスリット状の開口と、を備えたことを特徴とする近接場プローブ。

IPC (7件)：

G01N 13/14 , G01B 11/24 , G01N 21/27 , G02B 6/00 , G02B 6/10 , G02B 21/06 , G12B 21/06

FI (7件)：

G01N 13/14 B , G01N 21/27 Z , G02B 6/00 B , G02B 6/10 D , G02B 21/06 , G01B 11/24 A , G12B 1/00 601 C

Fターム (48件)：

2F065AA04 , 2F065AA33 , 2F065AA49 , 2F065AA53 , 2F065DD00 , 2F065FF41 , 2F065FF49 , 2F065LL00 , 2F065LL02 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL28 , 2F065LL34 , 2F065LL67 , 2F065PP22 , 2F065PP24 , 2F065UU01 , 2F065UU07 , 2G059AA02 , 2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059EE01 , 2G059EE02 , 2G059EE05 , 2G059EE12 , 2G059FF03 , 2G059GG00 , 2G059GG04 , 2G059JJ01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ17 , 2G059JJ19 , 2G059KK01 , 2G059LL04 , 2G059MM05 , 2H038AA02 , 2H038AA12 , 2H038BA01 , 2H050AC83 , 2H050AC87 , 2H050AC90 , 2H050AD06 , 2H052AA01 , 2H052AA09 , 2H052AC00 , 2H052AC26 , 2H052AF02

引用特許：

審査官引用 (8件)

近視野光学素子を使用する磁気光学記録システム
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-509843 出願人：ボードオブトラスティーズオブザリーランドスタンフォードジュニアユニバーシティ
光ファイバープローブ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-205043 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー
走査型近視野顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-054609 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Nano-slit probes for near-field optical microscopy fabricated by focused ion beams

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