特許

J-GLOBAL ID：200903097797652759

光プローブ及びその製造方法

発明者： 興梠 元伸 ,  八井 崇 ,  大津 元一
出願人/特許権者： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-345976
公開番号（公開出願番号）：特開2000-171380
出願日： 1998年12月04日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】 複数の光出射開口を備えた光プローブにおいて、軽量化及び小型化が容易に実現でき、精度の高いトラッキング制御ができ高い光効率を実現する。【解決手段】 長方形状の開口となされ光を入射する光入射開口6aと、光入射開口6aから入射された光を集光して出射する光出射開口6bと、光入射開口6aと直交する面の断面が次第に小となるように形成されたガイド壁6cとを有し、光出射開口6bは、一次元的であって長方形状の開口に、複数の遮光材を長辺方向に略等間隔で複数個配設することで複数の開口を形成してスリット状となされている。

請求項（抜粋）：

長方形状の開口となされ光を入射する光入射開口と、上記光入射開口から入射された光を集光して出射する光出射開口と、上記光入射開口と直交する面の断面が次第に小となるように形成されたガイド壁とを有し、上記光出射開口は、一次元的な長方形状の開口が1以上設けられてなることを特徴とする光プローブ。

IPC (3件)：

G01N 13/14 ,  G01N 13/10 ,  G11B 7/135

FI (3件)：

G01N 37/00 E ,  G01N 37/00 Y ,  G11B 7/135 A

Fターム (5件)：

5D119AA01 ,  5D119AA43 ,  5D119JA36 ,  5D119JA61 ,  5D119NA08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ニアフィールド顕微鏡装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-328856   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 光検出または照射用の光プローブと該プローブを備えた近視野光学顕微鏡、及該光プローブの製造方法とその製造に用いる基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-272600   出願人：キヤノン株式会社
• 微小開口を有するプローブ、及び該プローブを有する情報処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-249109   出願人：キヤノン株式会社