特許
J-GLOBAL ID:200903070670012291
半導体装置および半導体装置の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
林 茂則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-072583
公開番号(公開出願番号):特開2009-231395
出願日: 2008年03月19日
公開日(公表日): 2009年10月08日
要約:
【課題】GaN系電界効果トランジスタをノーマリオフで動作させつつ、チャネルの電流密度を増加する。【解決手段】窒素を含む3-5族化合物半導体のチャネル層と、前記チャネル層に電子を供給する電子供給層であって前記チャネル層に対向する面の反対面に溝部を有する電子供給層と、前記電子供給層の前記溝部に形成されたp形半導体層と、前記p形半導体層と接して形成された、または、前記p形半導体層との間に中間層を介して形成された制御電極と、を備えた半導体装置を提供する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
窒素を含む3-5族化合物半導体のチャネル層と、
前記チャネル層に電子を供給する電子供給層であって前記チャネル層に対向する面の反対面に溝部を有する電子供給層と、
前記電子供給層の前記溝部に形成されたp形半導体層と、
前記p形半導体層と接して形成された、または、前記p形半導体層との間に中間層を介して形成された制御電極と、
を備えた半導体装置。
IPC (8件):
H01L 21/338
, H01L 29/778
, H01L 29/812
, H01L 29/78
, H01L 29/12
, H01L 21/336
, H01L 21/28
, H01L 29/423
FI (7件):
H01L29/80 H
, H01L29/78 652K
, H01L29/78 652T
, H01L29/78 653A
, H01L29/78 658E
, H01L21/28 301B
, H01L29/58 Z
Fターム (43件):
4M104AA04
, 4M104BB03
, 4M104BB04
, 4M104BB05
, 4M104BB06
, 4M104BB08
, 4M104BB14
, 4M104BB36
, 4M104DD28
, 4M104EE02
, 4M104EE14
, 4M104EE16
, 4M104EE17
, 4M104FF31
, 4M104GG11
, 5F102GB01
, 5F102GC01
, 5F102GD01
, 5F102GD10
, 5F102GJ02
, 5F102GJ03
, 5F102GJ04
, 5F102GJ10
, 5F102GK04
, 5F102GL04
, 5F102GM04
, 5F102GM08
, 5F102GM09
, 5F102GM10
, 5F102GQ01
, 5F102GR04
, 5F102GR07
, 5F102GR08
, 5F102GR09
, 5F102GS01
, 5F102GS04
, 5F102GT03
, 5F102HC01
, 5F102HC02
, 5F102HC07
, 5F102HC10
, 5F102HC11
, 5F102HC15
引用特許:
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