特許

J-GLOBAL ID：200903070711866900

監視装置付き電子線照射装置

発明者： 彦坂 知行 ,  江口 志郎 ,  鈴木 崇之 ,  原田 信康 ,  強崎 智 ,  佐藤 重勝 ,  橋本 勲
出願人/特許権者： 株式会社日本AEパワーシステムズ
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-124495
公開番号（公開出願番号）：特開2009-276062
出願日： 2008年05月12日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：

【課題】電子線照射の正常又は異常の判断のみならず、異常の際には異常原因を具体的に特定することで点検作業にかかる時間を短縮すると共に、1つの装置で複数の異常原因を判定することができる監視装置付き電子線照射装置を提供する。【解決手段】電子線を照射処理室内の被照射物に照射する電子線照射手段を有する電子線照射装置の監視装置であり、監視装置は電子線が被照射物に照射されることにより放出する発光を撮影する撮影手段と、電子線照射状況が予め記憶された記憶手段と、撮影手段により撮影された画像を処理し、電子線照射状況を判定する演算手段とを有する。撮影手段には、少なくとも3つの電子線照射状況が記憶されると共に、電子線照射状況に対応する画像の輝度が記憶され、演算手段は撮影手段により撮影された画像を取り込んで、記憶手段に記憶された画像の輝度と比較し、電子線照射状況を判定する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

複数のフィラメントが放出する熱電子を加速することで電子線を照射処理室内の被照射物に照射する電子線照射手段と、 前記電子線が前記被照射物に照射されることにより放出する発光を撮影する撮影手段と、 電子線照射状況が予め記憶された記憶手段と、 前記撮影手段により撮影された画像を処理し、前記記憶手段に記憶された電子線照射状況を判定する演算手段と、 を有する監視装置付き電子線照射装置であって、 前記記憶手段は、 前記電子線照射状況に対応する画像の輝度が記憶されると共に、前記電子線照射状況を表す正常、軸ずれ、フィラメント切れ、又は真空窓劣化のうち少なくとも3つの電子線照射状況が記憶され、 前記演算手段は、 前記撮影手段により撮影された画像を取り込んで、前記記憶手段に記憶された画像の輝度と比較し、前記画像の輝度と関連する前記記憶手段に記憶された電子線照射状況を読み込んで電子線照射状況を判定することを特徴とする監視装置付き電子線照射装置。

IPC (2件)：

G21K 5/04 ,  G21K 5/00

FI (3件)：

G21K5/04 E ,  G21K5/00 A ,  G21K5/00 S

引用特許：

出願人引用 (4件)

• ビーム照射部監視装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-065866   出願人：三菱重工業株式会社
• 電子線照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-245438   出願人：岩崎電気株式会社
• 電子ビーム照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-124147   出願人：株式会社東芝
• 画像処理装置の異常の判定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-357236   出願人：JFEスチール株式会社