感放射線性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-122919
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013687
出願日： 2000年04月24日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】設計寸法0.20μm付近の微細加工を薄い膜厚で行う際の大きな問題である頭部形状の丸まりのない、矩形のパターンを形成でき、かつ遠紫外線、X線および荷電粒子線に有効に感応し、感度、解像度等に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】組成物は、(イ)p-ヒドロキシスチレンと(メタ)アクリル酸t-ブチルとの共重合体、p-ヒドロキシスチレンとp-t-ブトキシスチレンとの共重合体等で代表される樹脂、(ロ)感放射線性酸発生剤、および(ハ)テトラメチルアンモニウムアダマンタンカルボキシレート、テトラメチルアンモニウムオキサレート、テトラエチルアンモニウムピルヴェート等で代表される4級アンモニウム塩化合物を含有する。

請求項（抜粋）：

(イ)(I)下記一般式(1)で表される繰返し単位および下記一般式(2)で表される繰返し単位を含有する共重合体および/または(II)下記一般式(1)で表される繰返し単位および下記一般式(4)で表される繰返し単位を含有する共重合体、(ロ)感放射線性酸発生剤、並びに(ハ)下記一般式(5)で表される化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 は水素原子またはメチル基を示す。〕【化2】〔一般式(2)において、R2 は水素原子またはメチル基を示し、R3 はt-ブチル基または下記一般式(3)【化3】{一般式(3)において、R4 およびR5 は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または5〜8員環の環状アルキル基を示すか、または相互に結合して一般式(3)中の炭素原子と共に5〜8員環の炭素環構造を形成しており、R6 およびR7 は、相互に独立に水素原子、炭素数1〜6の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または5〜8員環の環状アルキル基を示すか、または相互に結合して一般式(3)中の2個の炭素原子と共に5〜8員環の炭素環構造を形成している。}で表される基を示す。〕【化4】〔一般式(4)において、R8 は水素原子またはメチル基を示し、R9 は炭素数4〜10の3級アルキル基を示す。〕【化5】〔一般式(5)において、R10、R11、R12およびR13は、相互に独立に炭素数1〜16の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数2〜16の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルケニル基、炭素数6〜15のアリール基または炭素数7〜12のアラルキル基を示すか、または何れか2つが相互に結合して一般式(5)中の窒素原子と共に5〜8員環の複素環構造を形成して、残りの2つが相互に独立に炭素数1〜16の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基、炭素数2〜16の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルケニル基、炭素数6〜15のアリール基または炭素数7〜12のアラルキル基を示し、R14は炭素数5〜16の1価の炭化水素基、炭素数2〜16のアシル基もしくはカルボキシル基を示すか、または炭素数1〜16の1価の炭化水素基が、カルボキシル基で置換された基を示す。〕

IPC (6件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/17 , C08L 25/18 , C08L 33/04 , G03F 7/004 501

FI (6件)：

G03F 7/039 601 , C08K 5/00 , C08K 5/17 , C08L 25/18 , C08L 33/04 , G03F 7/004 501

引用特許：

審査官引用 (4件)

フォトレジスト
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-325083 出願人：シプレイ・カンパニー・リミテッド・ライアビリティー・カンパニー
ポジ型放射感応性混合物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-025751 出願人：ヘキストジャパン株式会社
ポジチブ処理用感放射線組成物およびこれを使用するレリーフ構造体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-240821 出願人：ビーエーエスエフアクチェンゲゼルシャフト

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