特許
J-GLOBAL ID：200903070773983040

薄膜積層体

発明者：
阿部 能之

阿部 能之 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (2件)： 鴨田 朝雄 ,  鴨田 哲彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-211678
公開番号（公開出願番号）：特開2004-050643
出願日： 2002年07月19日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：
【課題】粒界の存在に伴う拡散染みだしや腐食が防止でき、膜厚70〜150nmでも1〜5Ω/□のシート抵抗を有し、表面平滑性に優れ、透明性に優れ、高精細もしくは大型のLCDや、プラズマディスプレイ、有機EL用透明電極として有用な薄膜積層体を提供する。【解決手段】金属系導電薄膜層と酸化物系透明導電薄膜層の2層、または酸化物系透明導電薄膜層が金属系導電薄膜層の両側に設けられた3層からなり、酸化物系透明導電薄膜層として、タングステン、シリコン、ゲルマニウムから選ばれた1種以上が含有される非晶質の酸化インジウムが積層される。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
金属系導電薄膜層と酸化物系透明導電薄膜層との2層、または金属系導電薄膜層の両側に酸化物系透明導電薄膜層が設けられた3層からなる薄膜積層体において、酸化物系透明導電薄膜層として、タングステン、シリコン、ゲルマニウムから選ばれた1種以上が含有される非晶質酸化インジウムが積層されていることを特徴とする薄膜積層体。
IPC (7件)：
B32B15/04 ,  B32B9/00 ,  C01G15/00 ,  G02B1/10 ,  G02B5/22 ,  G02F1/1343 ,  H01B5/14
FI (7件)：
B32B15/04 Z ,  B32B9/00 A ,  C01G15/00 B ,  G02B5/22 ,  G02F1/1343 ,  H01B5/14 A ,  G02B1/10 Z
Fターム (55件)：
2H048CA05 ,  2H048CA09 ,  2H048CA17 ,  2H048CA19 ,  2H048CA29 ,  2H092GA11 ,  2H092HA03 ,  2H092HA04 ,  2H092MA05 ,  2H092NA19 ,  2H092NA25 ,  2K009BB02 ,  2K009BB04 ,  2K009BB11 ,  2K009CC03 ,  2K009CC12 ,  2K009CC14 ,  2K009DD03 ,  2K009EE03 ,  4F100AA17B ,  4F100AA17C ,  4F100AB01A ,  4F100AB11 ,  4F100AB24A ,  4F100AB25A ,  4F100AB31A ,  4F100AT00D ,  4F100BA02 ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA06 ,  4F100BA10B ,  4F100BA10C ,  4F100DD07 ,  4F100GB41 ,  4F100JA12B ,  4F100JB02 ,  4F100JG01A ,  4F100JG01B ,  4F100JG01C ,  4F100JG04 ,  4F100JK15 ,  4F100JM02A ,  4F100JM02B ,  4F100JM02C ,  4F100JN01B ,  4F100JN01C ,  4F100JN01D ,  5C040GC06 ,  5C040GC18 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FB02 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10
引用特許：
審査官引用 (3件)

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