基板支持具ならびに該支持具を用いた薄膜の製造方法およびその製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-231712
公開番号（公開出願番号）：特開平10-072668
出願日： 1996年09月02日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】基板1に傷をつけることなく、良好な品質の薄膜が得られる基板支持具4、10およびこの支持具を用いた薄膜の製造方法および装置を提供する。【解決手段】透明基板1上にカラーフィルター2を形成したのち、このカラーフィルター面に所定の開口部を有する金属マスク3を密着させ、基板取付枠4にはめ込み、透明基板1との接触部分を合成樹脂6で被覆したステンレス製の基板支持用金具5で押圧固定する。

請求項（抜粋）：

基板を支持するための基板支持具であって、前記基板を該基板の一方の面から保持する基板保持部材と、前記基板を該基板の他方の面から前記基板保持部材に押圧する基板押圧部材とを備え、前記基板押圧部材の少なくとも前記基板との接触部が合成樹脂で形成されていることを特徴とする基板支持具。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-103768
選択CVD装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-307738 出願人：三菱電機株式会社
スパツタ用治具
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-281066 出願人：大日本印刷株式会社

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