圧力センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂本徹 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-585635
公開番号（公開出願番号）：特表2002-531822
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2002年09月24日
要約：

【要約】本発明は、支持壁(10)上に取り付けられ、ストリップ伝導体からなり基板(12)の下面(13)に配置された抵抗ユニットが設けられた、チップ(11)からなる圧力センサに関する。前記下面は支持壁(10)に面している。抵抗ユニットは、薄い膜(18)上に位置付けられている。凹部(19)は、前記膜の裏側に位置付けられている。チップ(11)は、弾性中間層(26)によって支持壁(10)上に固定される。チップの電気部品は、基板(12)と支持壁(10)の間に保護されるように配置される。本発明は、追加のセンサ・ハウジングが無い極めて平らなセンサ・ユニットを提供する。前記センサ・ユニットは、導電性媒質中で圧力を測定するために使用することもできる。

請求項（抜粋）：

ストリップ伝導体(15)からなり基板(12)上に配置された抵抗ユニット(14)と、基板(12)が取着される支持壁(10)と、抵抗ユニット(14)に対向する圧力伝達開口(27)とを含み、面(13)上に抵抗ユニット(14)が設けられた状態で基板(12)が支持壁(10)に面し、弾性中間層(26)が支持壁(10)と基板(12)の間に配置される圧力センサであって、圧力伝達開口(27)が、支持壁(10)に設けられ、基板(12)の平面側に面していることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84 B

Fターム (23件)：

2F055AA39 , 2F055BB01 , 2F055BB05 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE13 , 2F055FF38 , 2F055FF49 , 2F055GG01 , 2F055GG12 , 2F055GG31 , 2F055HH05 , 4M112AA01 , 4M112BA01 , 4M112CA03 , 4M112CA04 , 4M112CA08 , 4M112CA11 , 4M112CA15 , 4M112EA03 , 4M112EA14 , 4M112FA20 , 4M112GA01

引用特許：

出願人引用 (8件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-071951 出願人：株式会社東海理化電機製作所
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-058858 出願人：株式会社東海理化電機製作所
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-179843 出願人：株式会社東海理化電機製作所

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審査官引用 (7件)

圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-058858 出願人：株式会社東海理化電機製作所
圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-179843 出願人：株式会社東海理化電機製作所
センサ機能を備えたカテーテル
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-114006 出願人：株式会社東海理化電機製作所

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