特許
J-GLOBAL ID：200903070840971493

単層砥石

発明者：
高橋 務

高橋 務 について

, 
下前 直樹

下前 直樹 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338734
公開番号（公開出願番号）：特開2001-157967
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：
【要約】【課題】 砥粒層に研削屑を目詰まりさせることなく排出させる。【解決手段】 台金22の一面22a外周側にリング状の砥粒層24を設ける。砥粒層24は台金22の中心Oを通る中心線O1の両側で反対方向に傾斜するように第一の小砥粒層部26Aと第二の小砥粒層部26Bとを略ハの字形に配置して周方向に順次配列する。小砥粒層部26は複数の超砥粒14...を金属結合相30で固着して平面視で略長方形状をなす。第一の小砥粒層部26Aは研削方向Gに近似した角度θで傾斜して研削長さを大きくとれ、第二の小砥粒層部26Bは研削方向Gに略々直交する角度-θで傾斜して目詰まりを解除する。
請求項（抜粋）：
超砥粒が金属結合相で固着された小砥粒層部が台金に複数配列された砥粒層を備えてなり、前記小砥粒層部は台金の中心を通る中心線に対して一方向に傾斜する第一の小砥粒層部と該第一の小砥粒層部とは逆方向に傾斜する第二の小砥粒層部とを有することを特徴とする単層砥石。
IPC (7件)：
B24D 3/00 310 ,  B24D 3/00 320 ,  B24B 53/12 ,  B24D 3/06 ,  B24D 7/02 ,  H01L 21/304 622 ,  B24B 53/02
FI (7件)：
B24D 3/00 310 F ,  B24D 3/00 320 B ,  B24B 53/12 Z ,  B24D 3/06 B ,  B24D 7/02 B ,  H01L 21/304 622 M ,  B24B 53/02
Fターム (13件)：
3C047EE18 ,  3C063AA02 ,  3C063AB02 ,  3C063AB05 ,  3C063BA05 ,  3C063BB02 ,  3C063BC02 ,  3C063BG07 ,  3C063BG11 ,  3C063BH02 ,  3C063CC12 ,  3C063EE10 ,  3C063FF23
引用特許：
審査官引用 (11件)
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