特許
J-GLOBAL ID：200903070852625744

有機材料又は有機材料と無機材料を組み合わせた材料をパターニングする方法

発明者：
ハルナック、 オリバー

ハルナック、 オリバー について

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レブル、 イザベル

レブル、 イザベル について

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ヤスダ、 アキオ

ヤスダ、 アキオ について

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フォスマイアー、 トビアス

フォスマイアー、 トビアス について


出願人/特許権者：
ソニー インターナショナル (ヨーロッパ) ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

ソニー インターナショナル (ヨーロッパ) ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング について


代理人 (3件)： 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-247253
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191526
出願日： 2004年08月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】有機/無機材料のナノ粒子膜パターニング方法を提供する。【解決手段】有機/無機材料を基板上にパターニングする方法は、 基板表面にフォトレジスト材料をパターニングすることにより、基板/フォトレジスト材料表面を形成するステップと、基板/フォトレジスト材料表面に水溶性材料を堆積するステップと、有機溶媒中にてフォトレジスト材料をリフトオフし、基板表面に水溶性材料をパターニングするステップと、基板/水溶性材料表面に有機/無機材料を積層するステップと、水溶性材料をリフトオフし、基板上に有機/無機材料をパターニングするステップを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
有機又は有機/無機材料を基板上にパターニングする有機又は有機/無機材料のパターニング方法において、 (1)水溶性材料「A」を上記基板の表面にパターニングすることにより、基板/材料「A」表面を形成するステップと、 (2)上記基板/材料「A」表面に有機又は有機/無機材料「B」を堆積するステップと、 (3)水性溶液中にて材料「A」をリフトオフするステップとを有する有機又は有機/無機材料のパターニング方法。
IPC (5件)：
H05K3/02 ,  H01L21/306 ,  H01L29/06 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (6件)：
H05K3/02 A ,  H01L29/06 601N ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H01L21/306 N ,  H01L21/88 B
Fターム (35件)：
3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104DD68 ,  5E339AB05 ,  5E339BC01 ,  5E339BC10 ,  5E339BD05 ,  5E339BD13 ,  5E339CC02 ,  5E339CD08 ,  5E339CD10 ,  5E339CE11 ,  5E339CE12 ,  5E339CE15 ,  5E339CF02 ,  5E339CF05 ,  5E339CF07 ,  5E339CF15 ,  5E339CG01 ,  5E339DD02 ,  5E339GG10 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH18 ,  5F033MM01 ,  5F033PP19 ,  5F033QQ44 ,  5F043AA07 ,  5F043BB12 ,  5F043DD18
引用特許：
審査官引用 (6件)
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