特許
J-GLOBAL ID:200903070981057680

画像の欠陥検出装置及びその欠陥検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 畑 泰之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-341320
公開番号(公開出願番号):特開平11-242746
出願日: 1998年12月01日
公開日(公表日): 1999年09月07日
要約:
【要約】【課題】 良品のバラツキに影響されない高速で且つ高精度な画像の欠陥検出装置及びその欠陥検出方法を提供する。【解決手段】 被検査画像1をデジタル画像情報に変換するデータ変換手段2、デジタル画像情報を記憶する第1の記憶手段7、第1の記憶手段7に記憶されたデジタル画像情報を個別に記憶する第2の記憶手段8と第3の記憶手段9、第2の記憶手段8に記憶されたデジタル画像情報に、膨張フィルター処理を実行する第1の処理手段10、第1の処理手段10により得られたデジタル画像情報に収縮フィルター処理を実行する第2の処理手段11、第3の記憶手段9に記憶されたデジタル画像情報に、収縮フィルター処理を実行する第3の処理手段12、第3の処理手段12により得られたデジタル画像情報に膨張フィルター処理を実行する第4の処理手段13、第2の処理手段11及び第4の処理手段13により得られたデジタル画像情報の差分値を演算する第5の処理手段とから構成されている画像の欠陥検出装置30。
請求項(抜粋):
一つの被検査画像から2個の複製被検査画像を作成する手段と、一方の複製被検査画像に対して、膨張フィルターと収縮フィルターとをこの順に順次適用して画像処理する第1画像処理手段と、他方の複製被検査画像に対して、収縮フィルターと膨張フィルターとをこの順に順次適用して画像処理する第2画像処理手段と、当該第1の画像処理手段と当該第2の画像処理手段のそれぞれから出力される画像情報の差分値からなる画像情報を出力する画像情報出力手段とから構成されている事を特徴とする画像の欠陥検出装置。
IPC (3件):
G06T 7/00 ,  G01N 21/88 ,  G03F 1/08
FI (4件):
G06F 15/62 405 Z ,  G01N 21/88 J ,  G03F 1/08 S ,  G01N 21/88 645 A
引用特許:
審査官引用 (4件)
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