特許

J-GLOBAL ID：200903071129916796

プラズマ電極

発明者： 清水 一男
出願人/特許権者： 清水 一男
代理人 (1件)： 特許業務法人太田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-231476
公開番号（公開出願番号）：特開2009-081134
出願日： 2008年09月09日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：

【課題】電極間のギャップをμmオーダーとし、大気圧中でのパッシェンミニマム付近で作動することで、消費電力を低減するとともに、印加電圧の低減化、流体の流通性を向上させることができるプラズマ電極を提供する。【解決手段】複数の貫通孔11,12を有する金属基板13,14、2枚を、貫通孔同士の位置が一致するように平行に配設したプラズマ電極10であって、金属基板の対向する少なくとも一方の表面にはポーラスな誘電体膜16が露出して形成されている。プラズマ電極は、金属基板2枚が、その周縁に非導電体スペーサ15を介在させて平行に配設した態様もある。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の貫通孔を有する金属基板2枚を、該貫通孔同士の位置が一致するように平行に配設したプラズマ電極であって、 該金属基板の対向する少なくとも一方の表面にはポーラスな誘電体膜が露出して形成されていることを特徴とするプラズマ電極。

IPC (4件)：

H05H 1/24 ,  C02F 1/48 ,  B01J 19/08 ,  C01B 13/11

FI (4件)：

H05H1/24 ,  C02F1/48 B ,  B01J19/08 E ,  C01B13/11 G

Fターム (27件)：

4D061DA01 ,  4D061DB01 ,  4D061EA13 ,  4D061EB01 ,  4D061EB07 ,  4D061EB18 ,  4D061EB20 ,  4D061EB28 ,  4D061EB33 ,  4D061EB35 ,  4G042CA01 ,  4G042CC04 ,  4G042CC06 ,  4G042CC16 ,  4G042CC20 ,  4G042CC21 ,  4G042CE02 ,  4G075AA03 ,  4G075AA15 ,  4G075AA37 ,  4G075BA05 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075FA01 ,  4G075FC15

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭63-190702号公報
  
• 空気浄化装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-189351   出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (4件)

• 液晶パネル及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-311569   出願人：セイコーエプソン株式会社
• プラズマ反応器及びそれに利用される電極プレート
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-560685   出願人：ブループラネットカンパニーリミテッド
• 絶縁体被膜層担持電極を有する気体励起装置、及び気体励起方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-282186   出願人：日鉄鉱業株式会社
• プラズマ発生用電極装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-021472   出願人：日本碍子株式会社