特許

J-GLOBAL ID：200903048978058629

プラズマ発生用電極装置

発明者： 小林 直樹 ,  脇田 昌宏
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (2件)： 細田 益稔 ,  青木 純雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-021472
公開番号（公開出願番号）：特開2006-210178
出願日： 2005年01月28日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：

【課題】気体からプラズマを発生させて被処理物をプラズマ処理する装置において、被処理物とプラズマ活性種との接触の効率を向上させ、これによって被処理物の処理効率を向上させるような構造を提供する。【解決手段】プラズマを発生させるための電極装置30において、電極装置30は、誘電体からなる基板40、この基板40内に埋設されている第一の電極8、および基板の一方の主面7aに設けられている第二の電極6Aを備えている。基板40にプラズマガスを供給する貫通孔26が形成されており、第二の電極6Aから基板40に沿って生ずる沿面放電によってプラズマを発生させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマを発生させるための電極装置であって、 誘電体からなる基板、この基板内に埋設されている第一の電極、および前記基板の一方の主面に設けられている第二の電極を備えており、前記基板に貫通孔が形成されており、前記第二の電極から前記基板に沿って生ずる沿面放電によってプラズマを発生させる、プラズマ発生用電極装置。

IPC (4件)：

H05H 1/24 ,  A61L 2/14 ,  B01J 19/08 ,  B65B 55/08

FI (4件)：

H05H1/24 ,  A61L2/14 ,  B01J19/08 E ,  B65B55/08 Z

Fターム (18件)：

4C058AA12 ,  4C058AA25 ,  4C058BB06 ,  4C058CC04 ,  4C058EE23 ,  4C058EE26 ,  4C058KK06 ,  4G075AA41 ,  4G075CA47 ,  4G075CA63 ,  4G075EB42 ,  4G075EC21 ,  4G075FA01 ,  4G075FA03 ,  4G075FB01 ,  4G075FB04 ,  4G075FB06 ,  4G075FC15

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 滅菌装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-294083   出願人：藤森工業株式会社
• 大気圧プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-049791   出願人：株式会社リコー
• 多孔性プラズマ放電用電極、大気圧プラズマ放電処理装置、薄膜形成方法及び高機能性フィルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-142840   出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社
• 特許第3154058
  
• 特許第3403723
  

審査官引用 (4件)

• プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-299505   出願人：松下電工株式会社
• 沿面放電電極およびこれを用いたガス処理装置、ガス処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-095555   出願人：ヤマハ株式会社
• プラズマ殺菌装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-342223   出願人：株式会社東芝
• 特開平1-117240