特許
J-GLOBAL ID：200903071130418686
大型ペリクルの収納方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
中川 周吉
, 中川 裕幸
, 飛田 高介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-159737
公開番号（公開出願番号）：特開2004-361647
出願日： 2003年06月04日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】従来、ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納し、かつこれ等のトレイと蓋とを、ペリクルに接触させることによってペリクルを拘束し、この状態でペリクルを輸送した場合には、輸送時の振動や衝撃によってペリクルを擦って損傷したり、強い擦れによる塵が発生してペリクルに付着したりする問題があった。【解決手段】大型ペリクルAの保護フィルム5の外縁の外側に所定の寸法を有する押え代5aを突設し、大型ペリクルAをペリクル収納ケースBのトレイ6上に搭載した際に、前記押え代5aをトレイ6の表面に粘着テープ9を介して粘着固定する大型ペリクルの収納方法である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
枠体と、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着した粘着材と、該粘着材を保護するために枠体の下面に粘着された保護フィルムからなる大型ペリクルをトレイと蓋とよりなるケースに収納する方法に於て、前記大型ペリクルの保護フィルムの外周縁の一部或は全部を外側に突出させて押え代を形成し、かつ該押え代を粘着テープを介して該トレイに固定して大型ペリクルをケース内に収納することを特徴とした大型ペリクルの収納方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
2H095BC31
, 3E096AA01
, 3E096BA20
, 3E096CA06
, 3E096CB02
, 3E096DA11
, 3E096DA17
, 3E096DB01
, 3E096EA02X
, 3E096FA03
, 3E096FA09
, 3E096GA14
