特許
J-GLOBAL ID：200903071300580955

平面度測定装置

発明者：
本多 啓志

本多 啓志 について


出願人/特許権者：
東ソー・クォーツ株式会社

東ソー・クォーツ株式会社 について


代理人 (1件)： 石井 良和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-395284
公開番号（公開出願番号）：特開2002-195823
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：
【要約】【課題】表面を傷つけず、また、保持手段によって測定対象物に変形を生じさせることなく、高精度で板状体の平面度を測定する。【解決手段】測定対象の板状体4を垂直に立て、板状体4を当てピン14付き吸着パッド13で保持し、板状体4が自重によって撓むのを防止する。板状体4の表面を接触型3次元測定装置2によって外形形状を測定し、平面度を求める。
請求項（抜粋）：
測定対象の板状体を垂直に保持する保持装置と板状体平面の外形形状を計測する外形測定装置とからなる板状体の平面度測定装置。
IPC (2件)：
G01B 21/30 101 ,  G01B 21/00
FI (2件)：
G01B 21/30 101 F ,  G01B 21/00 L
Fターム (14件)：
2F069AA54 ,  2F069BB15 ,  2F069CC06 ,  2F069CC07 ,  2F069DD30 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH02 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ04 ,  2F069MM03
引用特許：
審査官引用 (5件)
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