特許
J-GLOBAL ID：200903071313368947
低温試料位置制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
豊田 武久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-303402
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121713
出願日： 1998年10月09日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 SQUIDなどのセンサにより試料を低温で計測もしくは観察するにあたって、振動による位置精度の低下の問題が生じないようにする。【解決手段】 試料を保持する試料台29と、試料台の試料に対向してセンサを保持するセンサ台61と、試料を低温に冷却するための試料用冷却ヘッドと、センサを冷却するためのセンサ用冷却ヘッド35と、試料台および試料用冷却ヘッドを熱遮蔽するための試料側熱シールド筐体27と、センサ台およびセンサ用冷却ヘッドを熱遮蔽するためのセンサ側熱シールド筐体57と、試料台を3次元方向へ位置制御するための位置制御手段19とを備え、試料用冷却ヘッドおよび試料台は、試料側熱シールド筐体27内に互いに分離されて配置され、かつ試料用冷却ヘッドと試料台との間が可撓性を有する熱伝導部材41によって結合されている。
請求項（抜粋）：
試料を保持する試料台と、試料台の試料に対向してセンサを保持するセンサ台と、前記試料を低温に冷却するための試料用冷却ヘッドと、前記センサを冷却するためのセンサ用冷却ヘッドと、前記試料台および試料用冷却ヘッドを熱遮蔽するための試料側熱シールド筐体と、前記センサ台およびセンサ用冷却ヘッドを熱遮蔽するためのセンサ側熱シールド筐体と、前記試料台を3次元方向へ位置制御するための位置制御手段とを備え、前記試料用冷却ヘッドおよびセンサ用冷却ヘッドは、それぞれ外部から冷却媒体が流入・排出されるように構成され、かつ前記試料用冷却ヘッドおよび前記試料台は、試料側熱シールド筐体内に互いに分離されて配置され、かつ前記試料用冷却ヘッドと試料台との間が可撓性を有する熱伝導部材によって結合されており、その可撓性熱伝導部材を介して試料台および試料が低温に冷却されるように構成されていることを特徴とする、低温試料位置制御装置。
IPC (4件)：
G01R 33/035
, G01N 1/28
, G01N 13/10
, G01R 33/02
G01R 33/035
, G01N 37/00 T
, G01N 37/00 U
, G01R 33/02 U
, G01N 1/28 W
, G01N 1/28 K
2G017AB05
, 2G017AB06
, 2G017AC01
, 2G017AC03
, 2G017AC04
, 2G017AC05
, 2G017AC06
, 2G017AD32
