特許
J-GLOBAL ID:200903071413707129

放射線検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 浅川 哲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-056713
公開番号(公開出願番号):特開2001-244492
出願日: 2000年03月02日
公開日(公表日): 2001年09月07日
要約:
【要約】【課題】 放射線感応層としてセレン層を用いている放射線検出器の感度を向上させることである。【解決手段】 基体3上にセレン層5と上部電極層6とを形成してなる放射線検出器において、前記セレン層5が所定の電気特性を有するセレン又はセレン合金を用いて形成されたものであり、セレン又はセレン合金の電気特性が以下の条件を満たすこと。(条件)6.7×10-3Pa以下の真空度において、アルミニウム板上にセレン又はセレン合金を1分間に5μm以下の割合で20分間蒸着し、膜厚60〜70μmのセレン感光板を製作する。次いで、このセレン感光板の表面を、暗中でコロナ放電により-700〜-900vに帯電し、白熱電球を用いて300ルクス秒の光量で露光した時に、前記セレン感光板の残留電位が-200v以下となること。
請求項(抜粋):
基体上にセレン層と電極層とを形成してなる放射線検出器において、前記セレン層が所定の電気特性を有するセレン又はセレン合金を用いて形成されたものであり、セレン又はセレン合金の電気特性が以下の条件を満たすことを特徴とする放射線検出器。(条件)6.7×10-3Pa以下の真空度において、アルミニウム板上にセレン又はセレン合金を1分間に5μm以下の割合で20分間蒸着し、膜厚60〜70μmのセレン感光板を製作する。次いで、このセレン感光板の表面を、暗中でコロナ放電により-700〜-900vに帯電し、白熱電球を用いて300ルクス秒の光量で露光した時に、前記セレン感光板の残留電位が-200v以下となること。
IPC (3件):
H01L 31/09 ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/14
FI (3件):
G01T 1/24 ,  H01L 31/00 A ,  H01L 27/14 K
Fターム (30件):
2G088EE01 ,  2G088EE27 ,  2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ37 ,  2G088LL11 ,  2G088LL15 ,  4M118AA01 ,  4M118AB10 ,  4M118BA05 ,  4M118CA15 ,  4M118CB05 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118FB09 ,  4M118FB13 ,  4M118FB16 ,  4M118GA10 ,  5F088AA20 ,  5F088AB01 ,  5F088BA01 ,  5F088BA03 ,  5F088BB06 ,  5F088BB07 ,  5F088BB10 ,  5F088CA05 ,  5F088EA02 ,  5F088GA02 ,  5F088LA08
引用特許:
審査官引用 (8件)
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