量子線支援原子間力顕微法および量子線支援原子間力顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐川慎悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-126099
公開番号（公開出願番号）：特開2005-308554
出願日： 2004年04月21日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】原子間力顕微鏡を使って原子レベルでの形状観察と元素分析とを同時に行うことができ、さらには試料表面の化学状態を分析することが可能となり、また、液体中でも動作可能であるため生体試料に対する元素分析や化学状態分析を原子レベルの分解能で行うことが可能な量子線支援原子間力顕微法および量子線支援原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】試料表面の原子に対して元素固有の所定の電子遷移エネルギーを有する光量子、電子、荷電粒子等の量子線を入射し、この量子線が入射された試料表面原子と探針先端との間の相互作用力の変化を検出する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

試料表面の原子に対して元素固有の所定の電子遷移エネルギーを有する光量子、電子、荷電粒子等の量子線を入射し、この量子線が入射された試料表面原子と探針先端との間の相互作用力の変化を検出することを特徴とする量子線支援原子間力顕微法。

IPC (1件)：

G01N13/16

FI (1件)：

G01N13/16 A

引用特許：

出願人引用 (1件)

カンチレバー振幅測定方法および非接触原子間力顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-194762 出願人：日本電子株式会社

審査官引用 (2件)

特開平2-069643
特開平3-140842

引用文献：

審査官引用 (4件)

X-線を用いたナノクラスターキャラクタリゼーション手法の開発研究
走査プローブ顕微鏡型表面局所蛍光X線元素分析装置の開発
原子像の観察と元素分析を同時に実行 AFMと放射光を併用する技術を確認特許出願、本格的装置目指す

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