特許
J-GLOBAL ID：200903071599854061

エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び蒸着マスク

発明者：
西川 龍司

西川 龍司 について

, 
山田 努

山田 努 について


出願人/特許権者：
三洋電機株式会社

三洋電機株式会社 について


代理人 (1件)： 吉田 研二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-252443
公開番号（公開出願番号）：特開2003-151768
出願日： 2002年08月30日
公開日（公表日）： 2003年05月23日
要約：
【要約】【課題】 EL表示パネルの蒸着パターニング精度を向上する。【解決手段】 蒸着マスク12を蒸発源16とプラスチック基板10との間に配置し、蒸着マスク12に形成されているEL素子の蒸着層のパターンに応じた開口部によって選択的に蒸発源16からの蒸発物質を選択的に通過させてプラスチック基板10上に蒸着層を形成する。この蒸着マスクの材料として、熱膨張係数がプラスチック基板10と同等、例えば±30%以内の材料、例えばポリイミドなどのプラスチック材料を採用する。また耐熱性についてはプラスチック基板10より例えば50°C程度以上高い材料がより好適である。このような材料を蒸着マスクに採用することで蒸着時においてプラスチック基板の熱変形と蒸着マスクの熱変形とを同程度とでき、蒸着パターニング精度を向上できる。
請求項（抜粋）：
プラスチック基板上への複数のエレクトロルミネッセンス素子を製造する方法であって、エレクトロルミネッセンス素子の蒸着層を形成するために蒸発源で蒸着素子材料を蒸発させ、プラスチック基板上に蒸着する際に、熱膨張係数が前記プラスチック基板の熱膨張係数に対して±30%以内の材料を用いた蒸着マスクを用い、該蒸着マスクを前記蒸発源と前記プラスチック基板の間に配置して、前記蒸着素子材料の蒸着と同時に前記蒸着層をパターニングすることを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
IPC (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/24 ,  H05B 33/02 ,  H05B 33/14
FI (4件)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/24 G ,  H05B 33/02 ,  H05B 33/14 A
Fターム (12件)：
3K007AB11 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA05 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BB03 ,  4K029BD00 ,  4K029HA02 ,  4K029HA04
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 特開昭61-143577
  • 有機電界発光素子の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-344005   出願人：東レ株式会社
  • EL素子の製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-240288   出願人：北陸電気工業株式会社
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