特許

J-GLOBAL ID：200903071635012846

面位置検出装置及び方法並びに露光装置と該露光装置を用いたデバイスの製造方法

発明者： 小杉 祐司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 大塚 康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-054651
公開番号（公開出願番号）：特開2003-254710
出願日： 2002年02月28日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】ウエハ毎、ショット毎に走査スピードを変えた場合においても高精度な高さ位置の検出を可能とする。【解決手段】パターン構造を有する領域を、物体面上の部分の面位置を測定する測定手段に対して相対走査しながら、該領域内の計測ポイントの面位置を該測定手段を用いて検出する装置において、領域の面位置を検出するのに先立って、該領域に適用される相対走査の速度に応じて、計測ポイントに対する測定手段の計測範囲が予め設定された範囲となるように該測定手段の駆動パラメータを決定する。

請求項（抜粋）：

物体面上の部分の面位置を測定する測定手段と、パターン構造を有する領域を前記測定手段に対して相対走査しながら該領域内の計測ポイントの面位置を該測定手段を用いて検出する検出手段と、前記検出手段による前記領域の面位置の検出に先立って、該領域に適用される相対走査の速度に応じて、前記計測ポイントに対する前記測定手段の計測領域が予め設定された範囲となるように該測定手段の駆動パラメータを決定する決定手段とを備えることを特徴とする面位置検出装置。

IPC (5件)：

G01B 11/00 ,  G01B 21/00 ,  G03F 7/207 ,  H01L 21/027 ,  G01B 7/00

FI (6件)：

G01B 11/00 B ,  G01B 21/00 C ,  G03F 7/207 H ,  G01B 7/00 K ,  H01L 21/30 526 B ,  H01L 21/30 518

Fターム (43件)：

2F063AA02 ,  2F063AA37 ,  2F063BA26 ,  2F063BA30 ,  2F063CA11 ,  2F063DA01 ,  2F063DA05 ,  2F063DC08 ,  2F063HA01 ,  2F063LA16 ,  2F065AA06 ,  2F065AA35 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065GG02 ,  2F065GG07 ,  2F065GG23 ,  2F065GG24 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL28 ,  2F065LL30 ,  2F065LL46 ,  2F065LL59 ,  2F069AA02 ,  2F069AA77 ,  2F069BB15 ,  2F069DD15 ,  2F069GG06 ,  2F069GG09 ,  2F069NN26 ,  5F046BA05 ,  5F046DA05 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DC10

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 走査型露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-312730   出願人：キヤノン株式会社
• 面位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-239012   出願人：株式会社ニコン
• 走査露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-114196   出願人：株式会社ニコン
• 面位置設定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-067271   出願人：株式会社ニコン