特許
J-GLOBAL ID：200903071944898590

プラズマ電位測定方法と測定用プローブ

発明者：
佐々木 敏明

佐々木 敏明 について

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松村 昭作

松村 昭作 について

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久保田 章裕

久保田 章裕 について

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市川 幸美

市川 幸美 について


出願人/特許権者：
富士電機株式会社

富士電機株式会社 について


代理人 (1件)： 山口 巖 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-249880
公開番号（公開出願番号）：特開2002-063999
出願日： 2000年08月21日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：
【要約】【課題】 測定電圧へのシース容量C<SB>s</SB>の変化の影響を抑制し、かつ電磁波ノイズの影響を減少し、高周波プラズマ電位の時間変動の振幅を正確に測定可能なプラズマ電位測定方法と測定用プローブを提供する。【解決手段】 高周波プラズマの周期的変動電位を測定するにあたり、プラズマ1中に、先端信号導体3を内部に有する絶縁管2を挿入し、この絶縁管内部で周期的変動電位を浮遊容量16とコンデンサ4で、Cp << Cs << Coとなるように分圧し、この分圧した電圧を、整流回路7および8で直流電圧に変換して、同軸ケーブル13の信号線11に出力し、この直流電圧出力とプラズマ電位との予め求めた相関に基づいて、プラズマの周期的変動電位を測定する。なお、整流回路の前段には、ノイズ対策の観点から、ピークホールド回路5および6を設ける。
請求項（抜粋）：
高周波電圧を印加することによって励起されたプラズマの周期的変動電位を測定するプラズマ電位測定方法において、前記プラズマ中に、先端信号導体を内部に有する絶縁管を挿入し、この絶縁管内部で前記周期的変動電位を静電容量で分圧し、この分圧した電圧を直流電圧に変換して出力し、この直流電圧出力とプラズマ電位との予め求めた相関に基づいて、プラズマの周期的変動電位を測定することを特徴とするプラズマ電位測定方法。
IPC (3件)：
H05H 1/00 ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205
FI (3件)：
H05H 1/00 A ,  C23C 16/52 ,  H01L 21/205
Fターム (7件)：
4K030FA01 ,  4K030KA39 ,  5F045AA09 ,  5F045AC01 ,  5F045AC05 ,  5F045EH20 ,  5F045GB08
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (12件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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