液晶ディスプレイ用透明導電基板および透明電極形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：泉名謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317135
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236811
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】低比抵抗で、耐久性に優れ、微細電極加工性能に優れた液晶ディスプレイ用透明導電基板と該基板の透明電極形成方法の提供。【解決手段】基体1上に、基体側から、第1層目にZnOを主成分とする膜2、第2層目にAgを主成分とする膜3、第3層目にZnOを主成分とする膜4、のごとく交互に順に(2n+1)(ただしn≧1)層まで積層された液晶ディスプレイ用透明導電基板とその透明電極形成方法。

請求項（抜粋）：

基体上に透明導電積層膜が形成された液晶ディスプレイ用透明導電基板において、透明導電積層膜は、基体側から、第1層目にZnOを主成分とする膜、第2層目にAgを主成分とする膜、第3層目にZnOを主成分とする膜、のごとく交互に順に(2n+1)(ただしn≧1)層まで積層された積層膜であることを特徴とする液晶ディスプレイ用透明導電基板。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-340522
透明導電膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-224673 出願人：旭硝子株式会社
熱線遮断膜とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-324183 出願人：旭硝子株式会社

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