特許
J-GLOBAL ID：200903072018843001

撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法、欠陥検出システム

発明者：
梶山 康一

梶山 康一 について


出願人/特許権者：
株式会社ブイ・テクノロジー

株式会社ブイ・テクノロジー について


代理人 (1件)： 下山 冨士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-186739
公開番号（公開出願番号）：特開2004-028836
出願日： 2002年06月26日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】本発明は、擬似欠陥が発生することがなく、高精度で欠陥検出を行うことができる撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出システムを提供する。【解決手段】本発明の撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出システムは、8近傍点隣接比較方式により個々の検査部位の欠陥検出を行う欠陥検出システムにおいて、被検査体を撮像し、撮像素子に結像する撮像系1と、撮像素子から出力される光電変換された画像データを画像処理し欠陥検出用の画像データを生成する画像処理部5と、全体の制御を行う制御部6と、前記画像データにおける検査対象点を挟んで左右、上下又は斜め方向に隣接する8点のうち、いずれかの方向の隣接2点の輝度データの各々の優先順位を付けた比較演算等の各種の演算処理を行う演算処理部7と、検査対象点との比較に用いる最適な比較方向の2点の選定を行う選定部8と、選定した最適な比較方向の2点の平均値と検査対象点の輝度データとを比較し、当該検査対象点の欠陥の有無の検出を行う欠陥検出部9とを有するものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検査体を撮像して得られる同一繰り返しパターンの検査部位の画像データを基に、8近傍点隣接比較方式により個々の検査部位の欠陥検出を行う撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法において、検査対象点を挟んで隣接する8点のうち、左右、上下又は斜め方向に隣接する3種の2点同士を優先順位を付けて順に比較し比較対象の適否判定を行う予備判定過程と、 予備判定過程の判定結果に応じて検査対象点との比較に用いる最適な比較方向の2点の選定を行う選定過程と、 選定過程にて選定した最適な比較方向の2点の平均値と検査対象点とを比較し、当該検査対象点の欠陥の有無の検出を行う過程と、 を含むことを特徴とする撮像検査装置における8近傍点隣接比較方式による欠陥検出方法。
IPC (3件)：
G01N21/956 ,  G01M11/00 ,  G06T1/00
FI (3件)：
G01N21/956 Z ,  G01M11/00 T ,  G06T1/00 305A
Fターム (18件)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EB05 ,  2G051EC03 ,  2G051ED11 ,  2G086EE10 ,  5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC02 ,  5B057DA03 ,  5B057DC31
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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