特許
J-GLOBAL ID:200903072130033187
電子増倍素子、及びこれを用いた電子増倍装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
長谷川 芳樹
, 塩田 辰也
, 寺崎 史朗
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-101957
公開番号(公開出願番号):特開2004-311171
出願日: 2003年04月04日
公開日(公表日): 2004年11月04日
要約:
【課題】実用的な電子増倍機能を実現でき、低コストで製造可能な電子増倍素子及びこれを用いた電子増倍装置を提供すること。【解決手段】本発明は、注入される加速電子の運動エネルギーに基づき光を発する蛍光体12、蛍光体12からの光に対して透明で面11aで蛍光体12を支持し面11bで光を放出する支持体11、面11bに支持され蛍光体12の光を電子に変換する光電面13を備え、蛍光体12への入射電子数より光電面13からの出射電子数が多くなるよう蛍光体12、光電面13が構成される電子増倍素子9である。この素子9は、電子を、順次光、電子に変換する。また支持体11では蛍光体12からの光損失は小さい。更に蛍光体12への注入電子数より光電面13からの放出電子数が多い。このため、支持体11に厚みをもたせ且つ実用的な電子増倍機能の実現が可能となる。また電子増倍素子9は簡単な構成なので、その製造コストはMCPに比べはるかに低くできる。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
加速された電子が注入され、注入される電子の運動エネルギーに基づいて光を発する蛍光体と、
前記蛍光体から発せられる光に対して透明であって、前記蛍光体を支持する第1面、及び前記第1面に対向し、前記第1面から入射される光を出射する第2面を有する支持体と、
前記支持体の前記第2面に支持され、前記蛍光体から発せられる光を電子に変換する光電面とを備え、
前記蛍光体に入射される電子数よりも前記光電面から出射される電子数が多くなるように前記蛍光体及び前記光電面が構成されている、
ことを特徴とする電子増倍素子。
IPC (9件):
H01J43/06
, G01T1/20
, G01T1/202
, G01T1/28
, G01T1/29
, H01J31/12
, H01J31/48
, H01J31/50
, H01J43/04
FI (9件):
H01J43/06
, G01T1/20 B
, G01T1/202
, G01T1/28
, G01T1/29 A
, H01J31/12 C
, H01J31/48
, H01J31/50 D
, H01J43/04
Fターム (18件):
2G088FF10
, 2G088FF12
, 2G088FF14
, 2G088GG10
, 2G088GG17
, 2G088GG25
, 2G088JJ31
, 5C036EE01
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EG11
, 5C036EG41
, 5C036EG50
, 5C036EH04
, 5C037GG02
, 5C037GG06
, 5C037GH11
, 5C037GH20
引用特許: