特許
J-GLOBAL ID:200903029783000052
透過型2次電子面及び電子管
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-064165
公開番号(公開出願番号):特開2003-263952
出願日: 2002年03月08日
公開日(公表日): 2003年09月19日
要約:
【要約】【課題】 1次電子の入射に対して効率よく2次電子を放出することができる透過型2次電子面、及びそれを用いた電子管を提供する。【解決手段】 本発明による透過型2次電子面は、ダイヤモンド、またはダイヤモンドを主成分とする材料から形成された2次電子放出層1、2次電子放出層1の機械的強度を補う支持枠21、2次電子放出層1の入射面に対して設けられる第1電極31、及び2次電子放出層1の出射面に対して設けられる第2電極32によって構成されている。そして、2次電子放出層1の入射面と出射面との間に電圧が印加され、2次電子放出層1内部に電界が形成される。1次電子が入射して2次電子放出層1内部に2次電子が生成されると、2次電子放出層1内部に形成されている電界によって2次電子は出射面方向に加速され、透過型2次電子面の外部に放出される。
請求項(抜粋):
入射された1次電子によって生成された2次電子を放出する2次電子面であって、ダイヤモンド、またはダイヤモンドを主成分とする材料からなり、その一方の面が前記1次電子を入射する入射面、他方の面が前記2次電子を放出する出射面となっている2次電子放出層と、前記2次電子放出層に対して、前記入射面と前記出射面との間に所定電圧を印加する電圧印加手段とを備えることを特徴とする透過型2次電子面。
IPC (4件):
H01J 1/35
, H01J 31/12
, H01J 31/50
, H01J 43/22
FI (4件):
H01J 1/35 C
, H01J 31/12 C
, H01J 31/50 D
, H01J 43/22
Fターム (8件):
5C036EE01
, 5C036EG11
, 5C036EG50
, 5C036EH04
, 5C037GG02
, 5C037GG06
, 5C037GH11
, 5C037GH18
引用特許:
審査官引用 (8件)
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透過型2次電子面及び電子管
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-295189
出願人:浜松ホトニクス株式会社
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光電面
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-026919
出願人:浜松ホトニクス株式会社
-
2次電子増倍デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-272800
出願人:浜松ホトニクス株式会社
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